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UHV applications - XXL telescope

超高真空アプリケーション

超高真空(UHV)条件は、政府の研究室、学術機関、民間企業が行う複雑な研究のほとんどに必要な条件です。

国立研究所、研究活動を行う世界の大規模な主要大学、そして防衛、航空宇宙、分析機器の製造などの産業では、必要な真空レベルを達成するためにさまざまな真空装置が使用されています。これらの組織の多くが、高度に特化された真空ポンプ、機器、およびシステムを求めてライボルトを頼っています。

UHVとは、圧力が約10−9 mbar(10-7 Pa)を下回ることを特徴とする真空状態です。X線光電子分光法(XPS)、オージェ電子分光法(AES)、二次イオン質量分析法(SIMS)、電界放射顕微鏡(FEM)など、多くの表面分析技術で表面汚染を低減するために、超高真空条件が必要とされています。

分子線エピタキシー法(MBE)や原子層堆積(ALD)など、純度に関する厳しい要件がある薄膜の成長や準備に関する技術も、UHV条件に依存しています。

粒子加速器や重力波検出器のような研究アプリケーションでは、超高真空条件は主にビームとガスの相互作用を減らし、外部環境からの望ましくない摂動を制限するのに役立ちます。このような真空レベルでは、特殊な材料とポンプ原理を使用する必要があります。

当社は、意欲的な超高真空アプリケーションに使用される高度な真空ソリューションを幅広く提供しています。当社のコンポーネント、システムソリューション、アフターサービスは、世界中の主要な研究センターでその効果を発揮しています。

M-UHVプラットフォーム

モジュラー式超高真空実験プラットフォーム

自動化ベースのオプションは以下の通り

100 | 200 | 300 | 400

到達圧力 

< 5 x 10-10 mbar

  • 100 K~1000 Kの基板温度の変動
  • 正確な温度測定
  • モジュラー式のコンセプトとUHV移動ステーション設備により、クラスターシステムの組立が容易
  • 幅広いUHV実験ツールに対応するプラグアンドプレイ構成
  • フラグ型サンプルホルダーを搭載
多段式ルーツポンプ スクロールポンプ ターボ分子ポンプ(TMP) クライオポンプ

ECODRY Plus

メリット:

SCROLLVAC plus

メリット:

TURBOVAC IXおよびMAG W IP

TURBOLAB

メリット:

COOLVAC ICLおよびBL

メリット:

  • UHVに理想的なバックポンプ
  • 低い到達圧力
  • 非常に静か(52 db(A)未満)で低振動
  • オイルや粒子による汚染がない
  • 長期にわたりメンテナンスフリー
  • オイルフリー
  • 55 db(A)で静か
  • お客様が10分間でチップシール交換が可能
  • 非常に低い到達圧力
  • ターボ分子ポンプおよびシステムのフルライン
  • 炭化水素フリーの真空発生
  • 低い到達圧力
  • 軽ガスに対応する高い排気速度
  • 低いメンテナンス要件
  • プラグアンドプレイのポンプシステム
  • 高い水蒸気ポンプ能力と低メンテナンス性を実現したCOOLVACクライオポンプ
  • クリーンでドライの真空発生
  •  液体ヘリウムや液体窒素を使わずに極低温を発生させるCOOLPOWERコールドヘッド
イオンゲッターポンプとコントローラー チタンサブリメーションポンプ NEGポンプ UHVハードウェア、バルブ、継手

TITanおよびDIGITEL

メリット:

メリット:

メリット:

メリット:

  • XHV範囲まで炭化水素フリーの動作
  • 可動部品や動作音がない
  • 振動が一切生じない
  • 温度、輻射、磁場に対する高い耐性
  • UHVシステム内の残留ガス除去に最適なポンプ
  • 反応ガスに対応する非常に高い排気速度
  • シンプルで高いコスト効果
  • H2(UHV/XHVでの主な残留ガス)に対する高い捕集効率
  • 振動のない動作
  • オイルフリー
  • 幅広いUHVバルブ、ハードウェア、CFフランジ付き継手
  • ガス吸収が少なくリーク率の低い素材
  • 高いベーキング温度