完全なパッシブシステムを必要としない環境で幅広い計測を可能にします。
UHV熱陰極パッシブゲージ(IEシリーズ)を、アクティブな低~中真空計(TTRシリーズまたはCTRシリーズ)と組み合わせることができます。これにより、大気圧から1 x 10-12 mbar/torrまでを単一の制御ユニットで測定できます。
IM 540コントローラーを使用すると、2台のアクティブなセンサーを接続して表示し、2台のIEセンサーを同時に接続できます(1台ずつ電源を供給)。ゲージに障害が発生した場合でも、システムを真空状態に保つことができます。
IM 540では次のことが可能です。
大気圧からe-12 mbar/torrまでの計測と制御
UHVゲージを2台接続し、1台ずつ電源供給
脱ガス段階中もUHVを継続的に測定(ベーキング可能ゲージヘッドケーブルで最大+250 °Cまで可能)
調整可能なヒステリシスで、計測チャンネルに自由に割り当て可能な2つの調整可能なしきい値
コンパクトな卓上型エンクロージャー(1/2 19インチ、3 HU)
CEマーク