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Active vacuum measurement gauges

PENNINGVAC

ペニングおよび冷陰極ゲージ

PENNINGVACを選ぶ理由

業界をリードする精度、再現性、信頼性を最もコンパクトなサイで実現したゲージです。これらのゲージは、狭いシステムに組み込むのに適しており、重要なアプリケーションに使用することができます。

アクティブPENNINGVACシリーズ(PTR 90/225)は、低イオン化電流を使用して過酷なアプリケーションでのゲージのサービス間隔を延ばします。このため、組み合わされたセンサーの非常に低いターンオン圧力と相まって、低真空から高真空までの幅広いアプリケーションに対応します。 

さまざまなシリアルインターフェースやプログラム可能なセットポイントリレーなどのオプションが用意されており、制御システムに最適なトランスミッターとなっています。エルボ継手の代わりに、視線方向の汚染を防ぐために使用できるさまざまなアクセサリーバッフルを提供しています。

PENNINGVAC PTR 225シリーズ

純冷陰極ゲージ

当社の純冷陰極ゲージは、冷陰極イオン化の逆マグネトロン原理を使用しています。 

計測範囲は10-2~10-8 であり、高真空領域で測定できます。 

ゲージのオン/オフを制御するには、THERMOVACまたはCERAVACゲージのいずれかと組み合わせて使用することをお勧めします。テクノロジーを分離することで、ゲージのターンオンポイントを制御する方法の選択肢を持つことができます。 

ほとんどのアクティブゲージと同様に、アナログ0~10 Vのリニア出力とデジタル通信の両方を使用できます。 

Broad Range Vacuum Gauging

PENNINGVAC PTR 90シリーズ

複合型冷陰極ゲージ

冷陰極ゲージは冷陰極イオン化の逆マグネトロン原理を採用しており、ピラニゲージと組み合わせています。 

これらのテクノロジーを1つのセンサーに組み合わせることで、計測範囲が拡大し、大気から1e-8までの圧力測定が可能になります。 

冷陰極のオン/オフは内蔵のピラニによって自動的に制御されるため、冷陰極が高すぎる圧力で実行され寿命が短くなるリスクを排除できます。 

アナログ0~10 Vのリニア出力とデジタル通信の両方が利用できます。

Active vacuum measurement gauges

PENNINGVAC PR 26

PENNINGVAC PRシリーズは、冷陰極テクノロジーを採用したパッシブゲージです。 

PTRラインは逆マグネトロン技術を利用していますが、PRシリーズではペニング原理を使用しています。

これらのゲージはライボルトの社内で長い歴史を持ち、研究開発および産業市場に15年以上にわたってサービスを提供しています。チタン製の堅牢なカソードプレートにより、計測の信頼性が向上しています。 

THERMOVAC TRゲージおよびCOMBIVAC CM51コントローラー(リンク)と組み合わせることで、高照射環境で問題なく動作できる測定システムを構築できます。 

  • 冷陰極ターンオン圧力が低く、空気突入や振動の影響を受けにくいため長寿命 
  • 大気圧からe-9mbar/torrまで、取り付け位置に左右されない圧力計測が可能 
  • 冷陰極のモジュラー設計により、保守性が向上  
  • ポンプダウンサイクル中のピラニエレメントの自動ゼロ調整により、精度が向上  
  • センサーの状態を示すLEDリング  
  • アナログまたはデジタル通信インターフェース 
Active vacuum measurement gauges