そのため、さまざまな真空計が用意されており、それぞれ独自の特性と数十年にわたる真空計測能力を備えています。計測範囲を広げるために、複数のテクノロジーを1つのゲージにまとめることが一般的になっており、システムで必要とされる接続を減らすことができます。
真空計のタイプを区別する主な方法は、ガスの測定方法:直接または間接の圧力計測です。
真空計のもう1つの一般的な決定ポイントはアクティブまたはパッシブであり、このオプションは当社の幅広い真空計で利用できます。
広範な圧力範囲にわたって、堅牢で確実、正確な圧力計測が可能です。
最も過酷な環境で最高レベルの精度と再現性を実現するため、これらは詳細なシステム制御に最適です。
圧力を表示し、測定をより広い制御システムに統合することができます。当社は、お客様固有の要件に合わせて最適なコントローラーを用意しています。
一体型ディスプレイを備え、電池式のゲージを使用すると、どこでも、いつでも計測できます。機械式ダイヤルゲージは、正確な測定ではなく、真空を引いていることを示す必要がある場合に最適です。
熱陰極電離は、熱フィラメント放出イオンがセンサーヘッドに内蔵されている点で冷陰極とは異なります。このテクノロジーでは、中~超高真空圧(10-12 mbar/torr)を計測できます。保護を強化する必要があるセンサーヘッドであることから、より複雑な設計では所有コストが高くなります。
冷陰極テクノロジーと同様に、10-2mar/torrまでしか計測できないため、通常は一体型のピラニと組み合わせることで、単一ゲージでフルレンジの計測を行います。
また、熱陰極テクノロジーにはさまざまなバージョンがあり、主なタイプはべヤードアルパート(ITRまたはIE 414)とエクストラクター(IE 514)です。エクストラクターテクノロジーは、10-12mar/torrまでの計測能力を備えた最低圧力測定を提供します
広範な圧力範囲にわたって、堅牢で確実、正確な圧力計測が可能です。
最も過酷な環境で最高レベルの精度と再現性を実現するため、これらは詳細なシステム制御に最適です。
圧力を表示し、測定をより広い制御システムに統合することができます。当社は、お客様固有の要件に合わせて最適なコントローラーを用意しています。
一体型ディスプレイを備え、電池式のゲージを使用すると、どこでも、いつでも計測できます。機械式ダイヤルゲージは、正確な測定ではなく、真空を引いていることを示す必要がある場合に最適です。
熱陰極電離は、熱フィラメント放出イオンがセンサーヘッドに内蔵されている点で冷陰極とは異なります。このテクノロジーでは、中~超高真空圧(10-12 mbar/torr)を計測できます。保護を強化する必要があるセンサーヘッドであることから、より複雑な設計では所有コストが高くなります。
冷陰極テクノロジーと同様に、10-2mar/torrまでしか計測できないため、通常は一体型のピラニと組み合わせることで、単一ゲージでフルレンジの計測を行います。
また、熱陰極テクノロジーにはさまざまなバージョンがあり、主なタイプはべヤードアルパート(ITRまたはIE 414)とエクストラクター(IE 514)です。エクストラクターテクノロジーは、10-12mar/torrまでの計測能力を備えた最低圧力測定を提供します