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Composing Vacuum Measurement

真空計測およびコントローラー

幅広い真空システムおよびプロセスでは、真空性能を計測する必要があります。

この各種シリーズ内の圧力を計測するために使用される機器は、真空計と呼ばれ、大気圧より上(約2000 mbar(1500 Torr))から10~12 mbar/torrまでを測定します。この範囲で単体で測定できるセンサーテクノロジーはありません。

そのため、さまざまな真空計が用意されており、それぞれ独自の特性と数十年にわたる真空計測能力を備えています。計測範囲を広げるために、複数のテクノロジーを1つのゲージにまとめることが一般的になっており、システムで必要とされる接続を減らすことができます。  

真空計のタイプを区別する主な方法は、ガスの測定方法:直接または間接の圧力計測です。

  • 直接(またはガスに依存しない)圧力計測の場合、真空計で得られる読み取り値はガスの種類に依存せず、与えられる圧力は常にシステムの真の圧力になります。膜の機械的な変形に依存することが多いため、大気圧より上から10-4mbar/torrまで測定できます。これらのゲージタイプは、短い範囲で高い精度を提供し、通常、非常に堅牢です。 
  • 間接圧力測定の場合、圧力はガスの圧力依存特性(熱伝導率、イオン化確率など)の関数として決定されます。これらの特性は圧力だけでなく、ガスのモル質量にも依存します。したがって、これらはガス依存とも呼ばれます。測定値は通常、測定ガスとして空気または窒素に関連しています。他の蒸気またはガスを測定する場合は、システムの実際の圧力に対応する補正係数を適用する必要があります。これらのゲージは、より広い範囲(タイプ/組み合わせに応じて10 x 10-12mbarまでの大気圧)で圧力測定が可能であり、精度レベルは低くなります。 

真空計のもう1つの一般的な決定ポイントはアクティブまたはパッシブであり、このオプションは当社の幅広い真空計で利用できます。

  • アクティブゲージとは、ゲージヘッド(センサーヘッド)と信号の制御および出力に必要なエレクトロニクスを組み合わせて、システムとの統合を容易にするものです。 
  • パッシブゲージは、ゲージヘッドをエレクトロニクスから分離し、専用コントローラー内で個別に保持するものです。この利点は、高放射線環境などのエレクトロニクスが機能しない環境でも使用でき、別のコントローラーをその環境から取り外すことができることです。

ゲージおよびコントローラー

幅広い種類の真空計

広範な圧力範囲にわたって、堅牢で確実、正確な圧力計測が可能です。

  • THERMOVAC TTR/TRシリーズ- 標準のプライマリ / バックポンプ圧力のモニタリングに最適です。 
  • PENNNGVAC PTA/PRシリーズ– 高真空領域での計測が可能です。これらはフルレンジゲージです。
  • IONIVAC ITR/IEシリーズ– 真空範囲を超高真空圧に拡張します。

精密な真空計測

最も過酷な環境で最高レベルの精度と再現性を実現するため、これらは詳細なシステム制御に最適です。

  • CERAVAC CTR真空計- キャパシタンスマノメーターゲージの最上位。
  • DI/DU真空計-わずかに精度は低くなりますが、汚れた / 湿気の多い / ほこりの多い環境に適しています。

真空ポンプおよびゲージコントローラー

圧力を表示し、測定をより広い制御システムに統合することができます。当社は、お客様固有の要件に合わせて最適なコントローラーを用意しています。

ポータブルおよび機械式真空計測

一体型ディスプレイを備え、電池式のゲージを使用すると、どこでも、いつでも計測できます。機械式ダイヤルゲージは、正確な測定ではなく、真空を引いていることを示す必要がある場合に最適です。

IONIVAC熱陰極電離真空計

熱陰極電離は、熱フィラメント放出イオンがセンサーヘッドに内蔵されている点で冷陰極とは異なります。このテクノロジーでは、中~超高真空圧(10-12 mbar/torr)を計測できます。保護を強化する必要があるセンサーヘッドであることから、より複雑な設計では所有コストが高くなります。

冷陰極テクノロジーと同様に、10-2mar/torrまでしか計測できないため、通常は一体型のピラニと組み合わせることで、単一ゲージでフルレンジの計測を行います。

また、熱陰極テクノロジーにはさまざまなバージョンがあり、主なタイプはべヤードアルパート(ITRまたはIE 414)とエクストラクター(IE 514)です。エクストラクターテクノロジーは、10-12mar/torrまでの計測能力を備えた最低圧力測定を提供します