SOGEVACシステム
油封式真空システム
ドライ圧縮ルーツポンプと油封式ロータリーベーンポンプの組み合せ
SOGEVAC真空システムは、RUVAC WA、WS、WHファミリーのルーツブロワーと組み合わせたSOGEVACロータリーベーンポンプをベースにしています。これは、ある程度要求の厳しいすべてのプロセスの産業規格です。産業および研究において、真空技術の利用が増え続けています。そのため、真空発生システムに関しては、さまざまな要件が存在しています。
SOGEVACポンプシステムの一般的なアプリケーションは、産業、研究、化学です。主な対象は、金属の製造・加工、乾燥・脱気、熱処理、太陽電池や半導体製造の分野でのコーティング、表面の微細化です。SOGEVACポンプシステムは、拡散ポンプ、ターボ分子ポンプ、クライオポンプと組み合わせて、高真空システム用のバックポンプセットとしても使用されます。
焼き入れ、焼きなまし、ろう付け、溶解、鋳造などの一般的な真空炉プロセスでは通常、油封式またはドライ圧縮式標準真空ポンプシステムが使用されます。油封システムは、1段または2段のロータリーベーンを備えたルーツ真空ポンプの組み合わせで構成されています。
アダプターバージョン
標準装備
オイルリターン付き排気フィルター、オイルフィルター、オイル回収パンが付属
SOGEVAC真空システムは、CEの認定を受け、オイルはポンプに供給されます。
- 空冷式および水冷式のSOGEVAC
- RUVAC WA（U） / WS（U）（空冷式）
- ガスバラストバルブ：手動操作ですべての空冷式 SOGEVAC/24 V DC（SV 630BF）
- 床置き
オプション
- ルーツポンプWA / WS / WHの速度を制御するための周波数変換器
- 24 V DCガスバラストバルブまたは手動操作
- 防音ボックス
- 振動吸収材
- キャスター
- 各ポンプにオイルドレンバルブ
- 専用モーター
- 電気制御システム（スタート / ストップ機能など）
フレームバージョン
標準装備
標準コンポーネントの組み合わせによる完全なモジュラーシステム設計です。
SOGEVAC真空システムは、CEの認定を受け、オイルはポンプに供給されます。
- RUVAC WA（U） / WS（U）（空冷式）
- 空冷式および水冷式のSOGEVAC
- オイルリターンライン付き排気フィルター
- オイルフィルター
- オイル回収パン
- ガスバラストバルブ：手動操作ですべての空冷式 SOGEVAC/24 V DC（SV630BF）
- フレームのクレーンアイ
- 床置き
- オイルはポンプに供給
- CE承認
オプション
- ルーツポンプWA / WS / WHの速度を制御するための周波数変換器
- 24 V DCガスバラストバルブまたは手動操作
- 防音ボックス
- 振動吸収材
- キャスター
- 各ポンプにオイルドレンバルブ
- 専用モーター
- 電気制御システム（スタート / ストップ機能など）
