標準バルブ
当社は、あらゆるアプリケーションやお客様の要件に対応するバルブを多数提供しています。
真空の制御とシステムの保護は、一般的にバルブを介して行われます
バルブは、特定の圧力のゲージまたはポンプの回転速度によって作動します。
- 小型マイクロバルブ
- L型およびストレートスルーバルブ
- SECUVAC真空安全バルブ
- 真空ロック / シーリングバルブ
- 可変リークバルブ
- ボールバルブ
- UHVオールメタルバルブ
小型マイクロバルブ
当社が提供する最小のバルブ。
当社の3種類の主要な駆動方式（空圧、電空圧、電磁式）と、ストレートスルーフィッティングまたはL型のいずれかを用意しています。
フィッティングは、必要に応じて異なる接続部を持つように調整できます。このような小型バルブは、コンダクタンスを低下させることなく、小型の分析機器に組み込むことができるという利点があります。
ほとんどのアクティブゲージと同様に、アナログ0～10vのリニア出力とデジタル通信の両方を使用できます。
L型およびストレートスルーバルブ
DN16～50ISO-KFサイズとDN53～160-Kサイズがあり、これらのベローズシールバルブは幅広いシステムで使用されています。
駆動方式、本体材質、バルブ本体の形状など、広範なオプションを用意しており、一般的にBAVバルブまたはBIVバルブと呼ばれています。
手動制御のオプションにより、複数の真空システムをセットアップして短時間の実験を行うのに最適です。その他の制御タイプの駆動は、より長期的な設置にも適しています。
SECUVAC真空安全バルブ
DN 16 ISO-KFからDN 100 ISO-K
これらのソレノイドL型バルブは、逆止弁が内蔵されていないロータリー真空ポンプで使用するために特別に開発されました。
SECUVAC安全バルブは、停電が発生した場合にバックポンプを介した予期しないベントから真空システムを保護し、バックポンプが再起動して接続ラインを排気するまで、真空システムを密閉された状態にして真空状態を維持するようにします。
真空システムをベントするためのベントバルブとしても使用できます。
真空ロック / シーリングバルブ
一般的には、真空チャンバーまたはガス充填チャンバーのシーリング、容器の排気後、または容器内のガスの補充および交換時に使用されます。
ガスロックのスピンドルが作動のために挿入される六角ソケットを備えたねじ込み式シーリングエレメントが、チューブ差込口内に組み込まれています。ガスを充填、またはチャンバーを真空排気した後、ガスロックが小さなフランジから外れ、他のシーリングバルブでは何度でも再利用できます。
可変リークバルブ
可変リークバルブには、主に次の2種類があります。
- 標準バージョン：1000～5 x 10-6 mbar x l/sのガス流入率により、ほとんどすべてのアプリケーションで可変リークバルブを使用できます
- UHVバージョン：500～1 x 10-10 mbar x l/sを制御できます
ボールバルブ
ボールバルブは、レバーを操作するだけで開閉する小型の堅牢でコスト効率の高いストレートスルーバルブです。
バルブの位置（開 / 閉）は、レバーの位置で決定できます。レバーを取り外すこともできます。
ボールバルブには潤滑されたガスケットが付いており、開いた状態で、高いコンダクタンスで遮らない通過を可能にします。
両サイドとも大気に対してリークがないため、大気開放もできます。
UHVオールメタルバルブ
超高真空のあらゆるアプリケーションに対応する信頼性の高いソリューションです。
革新的な設計と回転可能なCFフランジにより、取り扱いやすく設置が容易です。
バルブの信頼性は、最適なシーリング材を使用することで実現されます。シルバーコーティングされたシーリングは、耐用年数が非常に長いため、1000サイクル以上メンテナンスが不要です。
機械的な停止により、バルブのトルクが過剰になることによるシーリングの損傷を防ぎます。また、バルブが完全に閉じていることも示します。
バルブの操作には、プラスチック製ハンドホイールと金属製Tハンドルを使用できます。Tハンドルの利点は、加熱プロセスに適しており、取り外す必要がないことです。
