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真空の制御とシステムの保護は、一般的にバルブを介して行われます

バルブは、特定の圧力のゲージまたはポンプの回転速度によって動作します。当社では、あらゆるアプリケーションやお客様の要件に合わせてさまざまなバルブを用意しています。

小型マイクロバルブ

Micro right angle valve

当社が提供する最小のバルブ。

当社の3種類のメインドライブ(空圧、電空圧、電磁式)と、ストレートスルーフィッティングまたはL型のいずれかを用意しています。

フィッティングは、必要に応じて異なる接続部を持つように調整できます。このような小型バルブは、コンダクタンスを低下させることなく、小型の分析機器に組み込むことができるという利点があります。

ほとんどのアクティブゲージと同様に、アナログ0~10vのリニア出力とデジタル通信の両方を使用できます。

L型およびストレートスルーバルブ

Straight-through Valve

DN16-50ISO-KFサイズおよびDN53-160-Kサイズがあり、これらのベローズシールバルブは幅広いシステムで使用されています。

駆動方式、本体材質、バルブボディ形状など、広範なオプションを用意しており、一般的にBAVバルブまたはBIVバルブと呼ばれています。

手動制御が可能なため、複数の真空システムをセットアップして短時間の実験を行うのに最適です。その他の制御タイプの駆動は、長期的な設置にも適しています。 

SECUVAC真空安全バルブ

SECUVAC special valve

DN 16 ISO-KFからDN 100 ISO-K

これらのソレノイドL型バルブは、逆止弁が内蔵されていないロータリー真空ポンプで使用するために特別に開発されました。

SECUVAC安全バルブは、電源障害が発生した場合に、バックポンプを介して予期しないベントから真空システムを保護し、バックポンプが再起動して接続ラインを排気するまで、真空システムを密閉された状態にして真空状態を維持するようにします。

真空システムをベントするためのベントバルブとしても使用できます。

真空ロック / シーリングバルブ

Vacuum Sealing Valve

一般的には、真空チャンバーまたはガス充填チャンバーのシーリング、容器の排気後、または容器内のガスの補充および交換時に使用されます。

ガスロックのスピンドルが作動のために挿入される六角ソケットを備えたねじ込み式シーリングエレメントが、チューブ差込口内に組み込まれています。ガスを充填した後、またはチャンバーを真空排気した後、ガスロックが小さなフランジから外れ、他のシーリングバルブでは何度でも再利用できます。

可変リークバルブ

Variable Leak Valve

可変リークバルブには、主に次の2種類があります。

  • 標準バージョン:1000~5 x 10-6 mbar x l/sのガス流入率により、ほとんどすべてのアプリケーションで可変リークバルブを使用できます
  • UHVバージョン:500~1 x 10-10 mbar x l/sを制御できます

ボールバルブ

Ball Valve

ボールバルブは、レバーを操作するだけで開閉する小型の堅牢でコスト効率の高いストレートスルーバルブです。

バルブの位置(開/閉)は、レバーの位置で決定できます。レバーを取り外すこともできます。

ボールバルブには潤滑されたガスケットが付いており、開いた状態で、高いコンダクタンスで遮らない通過を可能にします。

両サイドとも大気に対してリークがないため、大気開放もできます。

UHVオールメタルバルブ

UHV all metal valve

超高真空のあらゆるアプリケーションに対応する信頼性の高いソリューションです。

革新的な設計と回転可能なCFフランジにより、取り扱いしやすく設置が容易です。

バルブの信頼性は、最適なシーリング材を使用することで実現されます。シルバーコーティングされたシーリングは、耐用年数が非常に長いため、1000サイクル以上メンテナンスが不要です。

機械的な停止は、バルブのトルクが過剰になり、シーリングが損傷するのを防ぎます。また、バルブが完全に閉じていることも示しています。

バルブの操作には、プラスチック製ハンドホイールと金属製Tハンドルを使用できます。Tハンドルの利点は、加熱プロセスに適しており、取り外す必要がないことです。