COOLVAC e - 極低温真空ポンプ 高真空から超高真空の極低温真空性能を実現するガス溜め込み式ポンプ
ガス溜め込み式ポンプ
COOLVAC e真空ポンプは、ポンプ内の低温表面にガス状物質を低温凝縮させることで真空を発生させる冷凍機用クライオポンプです。超高真空の生成で使用されます。
COOLVAC eクライオポンプは、その排気原理により、すべてのガスに対して高効率な排気速度を実現します。COOLVAC e真空ポンプは、10-3 mbar～10-11 mbarの圧力範囲で、炭化水素を含まない真空を生成します。
COOLVAC e極低温ポンプのすべてのシリーズには、安全関連コンポーネントがすべて装備されています。特に、安全バルブには、排気ライン接続用の追加のDN 40 KFフランジが装備されています。
ポンプ本体は高品質のステンレススチール製です。
クライオポンプCOOLVAC eシリーズに組み込まれているCOOLPOWER eコールドヘッドの稼働には、COOLPAK eシリーズのヘリウムコンプレッサーが必要です。
利点をご確認ください。
スマート
コンパクトなCOOL.DRIVE eコントローラーおよびCOOLPAK eコンプレッサーのMK5コントローラーと組み合わせることで、COOLVAC eSLを自動制御できます。
コントローラーは、操作が容易で、高性能、低振動、エネルギー効率に優れたCOOLPOWER eコールドヘッドと各iシリーズのコンプレッサーにより、迅速で信頼性が高くクリーンな再生を実現します。
ブースト、エコ、標準の3つの動作モードを備え、COOLPAK eコンプレッサーとの通信により、急速冷却、省エネまたは標準動作を実現します
安全でシンプル
これらのクライオポンプには、EN 4126規格に準拠した安全バルブが内蔵されています。
COOLVAC e真空ポンプのメンテナンスも、同様に迅速で容易に行えます：
- ポンプをシステムから取り外す必要はありません
- 低い初期投資
高い排気速度
COOLVAC eクライオポンプは、すべてのガスと水蒸気の非常に効率的な排気速度を特に必要とするあらゆる場合に最適です。
eBasicLineとeSmartLineの両方のクライオポンプは、1500 l/s～60000 l/sの吸引容量クラスで使用できます
eSmartLine（eSL）
eSmartLine（eSL）シリーズのクライオポンプは、両方のコールドヘッドステージで電気ヒーターを使用して、室温まで徐々に加熱されます。圧力、温度、および加熱電力は、COOL.DRIVE eコントローラーによってモニタリングされます。
このプロセス中、排気されたガスは次の順序で順次放出されます。
- クライオパネルに吸着したガス（水素、ヘリウム、ネオンなど）
- クライオパネルで凝縮されたガス（窒素、酸素、アルゴンなど）
- バッフルおよび熱放射シールド上に凝縮されたガスおよび蒸気（水蒸気など）
ライボルトの再生プロセスの利点は、不活性で非反応性のガスの再生時に追加のパージガスが必要ないことです。
パージガス再生は、追加オプション / アクセサリーとして利用できます。
お客様の利点：
- COOLPAK 5000eと組み合わせることで、冷却性能の向上、省エネ、カスタマイズ運転を実現する3つの運転モードがあります
- 炭化水素フリーの高真空
- 大容量のアルゴンおよび水素
- 内蔵COOL.DRIVE eコントローラーによる完全自動再生
- ポンプの分解や真空システムの再調整が不要なため、現場でのサービスが容易です
- 水と窒素の高い排気速度
- 電気再生システムを使用した高速、安全、効率的な再生が可能
eBasicLine（eBL）
eBasicLine（eBL）シリーズのクライオポンプの場合、再生は次の2つのサブステップで手動で行われます：
- 冷凍機システムの電源を切り、室温に達するまで待ちます
- クライオポンプが十分に低圧力に到達した後、再度冷却します
eBasicLineポンプは、以下の点においてeSLバージョンのCOOLVAC eクライオポンプと同じです。
- 排気速度に関する技術データ、
- 容量、
- 冷却時間、
- 内蔵コールドヘッド、
- 最大スループット、
- 第2ステージ（Siダイオード）用の内蔵温度センサーおよび対応する電流フィードスルー。
ただし、これらのモデルには、COOL.DRIVE eコントローラーの他、ヒーター、ゲージ、フォアバキュームバルブは含まれていません。
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