COOLVAC 10000 - Cryogenic Pump front view

COOLVAC i

極低温真空ポンプ

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ガス溜め込み式ポンプ

COOLVAC i真空ポンプは、ポンプ内の低温表面にガス状物質を低温凝縮させることで真空を発生させる冷凍機用クライオポンプです。超高真空の生成で使用されます。

COOLVAC iクライオポンプは、その排気原理により、すべてのガスに対して高効率な排気速度を備えています。COOLVAC i真空ポンプは、10^-3 mbar～10^-11 mbarの圧力範囲で、炭化水素を含まない真空を生成します。

COOLVAC iシリーズのすべての極低温ポンプには、安全関連コンポーネントがすべて装備されています。特に、安全バルブには、排気ライン接続用の追加のDN 40 KFフランジが装備されています。

ポンプの本体は、高品質のステンレススチール製です。

クライオポンプCOOLVAC iシリーズに組み込まれているCOOLPOWER iコールドヘッドの操作には、COOLPAK iシリーズのヘリウムコンプレッサーが必要です。

iSmartLine（iSL）

iSmartLine（iSL）シリーズのクライオポンプは、両方のコールドヘッド段で電気ヒーターを使用して、室温まで徐々に加熱されます。圧力、温度、および加熱電力は、COOL.DRIVE iコントローラーによってモニタリングされます。

プロセス中、排気されたガスは次の順序で順次放出されます。

クライオパネルに吸着したガス（水素、ヘリウム、ネオンなど）
クライオパネルで凝縮されたガス（窒素、酸素、アルゴンなど）
バッフルおよび熱輻射シールドに凝縮されたガスおよび蒸気（水蒸気など）

ライボルトの再生プロセスの利点は、不活性で非反応性のガスの再生時に追加のパージガスが必要ないことです。

パージガス再生は、追加オプション/アクセサリーとして利用できます。

お客様の利点：

COOLPAK 5000iと組み合わせることで、冷却性能の向上、省エネ、カスタマイズ運転を実現する3つの運転モードがあります
炭化水素フリーの高真空
大容量のアルゴンおよび水素
内蔵COOL.DRIVE iコントローラーによる完全自動再生
ポンプの分解や真空システムの再調整が不要なため、現場でのサービスが容易です
水と窒素の高い排気速度
電気再生システムを使用した高速、安全、効率的な再生が可能

COOLVAC 1500 iSL

iBasicLine（iBL）

iBasicLine（iBL）シリーズのクライオポンプの場合、再生は、次の2つのサブステップにより手動で行われます。

冷凍機システムの電源を切り、室温に達するまで待ちます
クライオポンプが十分に低圧力に到達した後、再度冷却します

iBasicLineポンプは、iSLバージョンのCOOLVAC iクライオポンプと同じです。

排気速度に関する技術データ、
容量、
冷却時間、
内蔵コールドヘッド、
最大スループット、
第2段（Siダイオード）および対応する電流貫通接続用の内蔵温度センサ。

ただし、これらのモデルには、COOL.DRIVE iコントローラーの他、ヒーター、ゲージ、フォア真空バルブは含まれていません。

利点をご確認ください。

スマート

コンパクトなCOOL.DRIVE iコントローラーおよびCOOLPAK iコンプレッサーのMK5コントローラーと組み合わせることで、COOLVAC iSLを自動制御できます。

コントローラーは、操作が簡単で、高性能、低振動、エネルギー効率に優れたCOOLPOWER iコールドヘッドと各iシリーズのコンプレッサーにより、迅速で信頼性が高くクリーンな再生を実現します。

ブースト、エコ、または標準の3つの動作モードで、COOLPAK iコンプレッサーとの通信により、急速冷却、省エネ、または標準動作を実現

安全でシンプル

これらのクライオポンプには、EN 4126規格に準拠した安全バルブが内蔵されています。

COOLVAC i真空ポンプのメンテナンスは、同様に早くて簡単です。

ポンプをシステムから取り外す必要はありません
低い初期投資

高い排気速度

COOLVAC iクライオポンプは、特にすべてのガスと水蒸気の非常に効率的な排気速度を必要とするあらゆる人に最適です。

iBasicLineとiSmartLineの両方のクライオポンプは、1500 l/s～60000 l/sの吸引容量クラスで使用できます

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