RUVAC WA / WAU
ルーツブロワー
お客様のアプリケーションに対応する実証済みのテクノロジー
ライボルトのRUVAC WA/WAUルーツブロワーは、フランジ取付けの空冷式標準三相モーターを装備した二次ポンプで、柔軟性を備えています。また、一体型均等化ラインとバイパスバルブにより、大気圧からのポンプダウンアプリケーションに最適です。
RUVAC WA / WAUルーツブロワーには、より長いサービス間隔を実現するために、FPM（FKM）（ふっ素ポリマー）製のラジアルシャフトシールリングが装備されています。RUVAC WAUルーツブロワーには、一体型圧力均等化ラインと差圧バイパスバルブが追加されています。これらのブロワーには、垂直排気フローが標準装備されていますが、必要に応じて水平フローに変更できます。
ドライルーツブロワーであるRUVAC WA / WAUは環境に配慮すると同時に空冷式であるため、コストのかかる水の使用や処分、および水回路のメンテナンス費用を節約できます。RUVAC WA/WAUは、熱処理、食品包装、フリーズドライなど、多くのアプリケーションで信頼性と性能が実証されています。
ユーザーのメリット
- 付属品
- 高い信頼性でトラブルフリーの真空
- サイクルタイムの短縮
- 低圧でも高い排気速度
- 大容量を実現
付属品
- 鉱物油LVO 100は標準潤滑剤として使用されています
- ダートシーブを装備した吸気フランジのガスケット
- 必要な潤滑剤の充填は、個別のボトルに含まれています
高い信頼性でトラブルフリーの真空
RUVAC WA/WAUルーツブロワーは、建築ガラスコーティング業界の標準装備です。定評のある油封式SOGEVACポンプまたはDRYVACポンプと組み合わせることで、ロードロックチャンバーでのポンプダウンタイムを最短に抑えることができます。ドライ圧縮型DRYVACおよびSCREWLINEポンプと組み合わせることで、プロセスチャンバーでのドライ、高い信頼性でトラブルフリーの真空を保証します。
サイクルタイムの短縮
RUVAC WA/WAUルーツブロワーは、可能な限り最短のサイクルタイムを達成するために、多くのアプリケーションで使用されています。ロードロックチャンバーのサポートや高速食品包装など、迅速な真空排気が重要な場合に使用されます。
低圧でも高い排気速度
WA/WAUルーツブロワーは、リチウムイオン電池製造工程の蒸気堆積プロセスまたは電解液の脱ガスの前に、薄膜コーティングアプリケーションでは10-3mbar未満の圧力にすばやく到達します。
大容量を実現
RUVAC WA/WAUブロワーは、半導体や太陽電池の基礎材料を製造するために必要なシリコン単結晶引き上げなどの大規模な製造プロセスに必要な容量を提供します。幅広い製品とアプリケーションのサポートとノウハウを提供いたします。
- 技術情報
- アプリケーション
- オンラインショップ
| RUVAC WA / WAU 251 |
RUVAC WA / WAU 501 |
RUVAC WA / WAU 1001 |
RUVAC WA / WAU 2001 |
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| 公称排気速度（50 Hz） | m3 · h-1 | 253 | 505 | 1000 | 2050 |
| 回転速度（50/60 Hz） | 最小-1 | 3000/3600 | 3000/3600 | 3000/3600 | 3000/3600 |
| モーター出力 | kW | ≤ 1.1 | ≤ 2.2 | ≤ 4.0 | 7.5 |
| 最大許容差圧 | mbar | 80 | 80 | 80 | 50 |
| 接続フランジ | DN 63 PN6 | DN 63 PN6 | DN 100 PN6 | DN 160 PN6 |
詳細な技術データについては、オンラインショップをご覧ください。
- バックポンプと組み合わせた、オイルフリーでのガスおよび蒸気の圧縮用
- 短いサイクルでの排気処理に最適
- 大量のガスや蒸気を処理できます
- ロードロックアプリケーション
