パリレン
真空ポンプ用の最も難易度の高いポリマーコーティングの1つ
パリレンコーティングは、ピンホールのない、薄く均一なポリマーフィルムをさまざまな基板に塗布する革新的なプロセスです。水分や化学薬品などの環境要因に対する優れた保護特性を備え、次のようなさまざまな産業用製品に最適です。
- 湿気バリア
- バリア層
- 埋め込み型医療機器
- 過酷な環境向けに設計されたセンサー
- 電子回路基板
- 腐食保護
- マイクロ構造の強化
- プラスチック、ゴム、その他の材料のシールド
リアクター内でパリレンパウダーが熱分解され、真空状態でパリレンコーティングが堆積します。蒸着プロセス中、パリレン蒸気およびパリレンラジカルは真空ポンプ内で凝縮して層を形成し、すべての内部表面および液体と相互作用します。
ライボルトは、蒸着プロセス中に難易度の高いパリレン蒸気を効果的に管理するために設計された専門の真空ポンプを提供しています。専門知識と豊富な応用実績を活用し、ライボルトのチームはパリレンコーティングシステムを使用するお客様固有の要件に対応いたします。当社のソリューションは、蒸着プロセスにおけるパリレン蒸気の処理に最適な性能と信頼性を確保するためにカスタマイズされています。
