LEYSPEC

残留ガス分析器

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シンプルで直感的な操作を可能にするオールインワンRGA

ボタンを押すと、主要なガスの分圧を表示できます。プロセスに追加のガスが含まれる場合は、予備のディスプレイチャンネルに割り当てることができます。

LEYSPECは、高いベークアウト温度を達成できるため、要求の厳しい高真空および超高真空用途での使用に最適です。

お客様のメリット

コンパクトで容易

すべてのモデルには、以下が含まれます。

一体型ディスプレイで、操作が簡単かつ迅速
LEYSPECソフトウェアで、高度な試験手順および残留ガス分析。

コンパクトなサイズで、あらゆる方向に取り付け可能なLEYSPEC製品シリーズは、さまざまな組み込み環境に最適です。

LEYSPEC残留ガス分析器は、直感的なインターフェースを備えているため、操作が非常に容易です。ボタンを押すと、主要なガスの部分的な圧力を表示できます。プロセスに追加のガスが含まれる場合は、予備のディスプレイチャンネルに割り当てることができます。

LEYSPECソフトウェア

インテリジェントで直感的なLEYSPECソフトウェアで、この製品が完成します。

使いやすいインターフェースにより、シンプルな操作から複雑な分析まで、ユースケースの各種シリーズに対応できます。レシピを作成することは、容易なだけでなく、速くて便利です。

操作中に全圧が表示され、解析の目的に合わせてさまざまなビューを選択できます。スキャンモード、トレンドモード、またはアナログモードを選択できます。

高感度で、正確な残留ガス分析

LEYSPEC製品ファミリーでは、非常に微量の汚染物質やプロセスガスも検出できます。

その組成を検索して表示することで、ガスの純度を検証します。このように、ガス汚染物質が特定され、プロセス性能と歩留まりの全体的な最適化のためのプロセスと機器の制御をさらに行います。

柔軟性

新しいLEYSPECシリーズは、質量分析のあらゆる用途に最適なソリューションです。

このシリーズは、プロセス要件に応じて100、200、または300 amuのソリューションをご用意しています。

高度な機能

プレインストールされたソフトウェア機能により、ヘリウムリークテストや選択可能なガスの警告およびエラーレベルの設定など、多くの付加機能やテスト手順を実行できます。

プログラム可能な脱ガス機能が実装されており、始動後または大気中にさらされた後の簡単なプロセス脱ガスが可能です。

バックグラウンド抑制により、重要なピークに焦点を合わせることができます。

300℃までの高いベークアウト温度

この高いベークアウト温度により、LEYSPECは高度な高真空および超高真空用途に適しています。

過酷な環境でも、信頼性の高いガス分析を実施できます。

動作原理

測定セルは、熱陰極電離真空計です。電子は高温のフィラメントから放出され、電気的バイアスによってソースに向けて加速されます。高速に移動する電子はガス分子と衝突し、電子を分解してイオン化します。正のガスイオンは負に負荷されたイオンコレクターに電流を供給します。イオン電流は圧力に比例します。イオンが多いほどイオン電流が高くなります。四重極アレイは4本のステンレス鋼ロッドで構成されています。すべてのロッドに直流および高周波電圧が印加されます。これにより、複雑な磁場が発生します。電圧を変化させることで、磁場が制御されます。

結果として生じる振動では、特定の質量のイオンのみが「飛んで」検出部に到達できます。