地球温暖化を抑制するために、エネルギーに対するニーズの高まりと化石燃料の消費を制限する必要性を考えると、太陽エネルギーはますます重要になってきています。世界的には、風力エネルギーや太陽光エネルギーなどの再生可能エネルギーがますます注目されています。需要の増加に伴い、太陽電池技術の研究が進み、大幅なコスト削減と、長寿命化に加え、太陽電池やパネルの効率化技術の向上が実現しています。
太陽光パネルは、グリーンエネルギー発電への道の重要な一歩です。たとえば、燃料電池駆動の将来の車両群用のグリーン水素を生成する電解槽の電源にもなる可能性もあります。
ライボルトは、ヘテロ接合部の新たな技術に見られるように、ウェハベース、薄膜、またはその両方の組み合わせなど、太陽生産プロセスにおける各真空ステップに最適な製品を提供します。
当社の真空に関する専門知識 - お客様のメリット
当社は、太陽光発電プロセス全体に最適な真空ソリューションを提供しています。特定のプロセス要件および個々のプロセス要件に応じて、さまざまなポンプタイプおよび専用の適合ポンプソリューションを利用できます。また、お客様の仕様に応じてカスタマイズすることもできます。
ドライ圧縮真空ポンプ
太陽光製品では、純度とオイルフリーのソリューションが不可欠です。ドライ圧縮ポンプは、オイル排出がなく、プロセスチャンバーへのオイルの移動リスクを回避するため、生産システムの最高のプロセス品質を確保します。稼働時間を最適化し、コストとメンテナンスを最小限に抑え、サービス期間を最適化します。ライボルトのドライポンプシリーズを使用することで、高品質の太陽電池を確実に製造できます。
PowerBoostとPowerBoost Plusは、高速サイクルアプリケーションと最大0.01 mbarの圧力で開発され、最適化されています。両システムは、非常に高速な排気速度と、その後にアイドル時間を必要とするすべてのインターバルベースのアプリケーションに適しています。また、サイクルタイムの自動検出により、非常に柔軟になり、回転する製品やさまざまな条件に適応できます。
ローター内部冷却機能を備えたSCREWLINE SP 630のドライスクリューポンプは、EVA(エチレンビニルアセテート)、POE(ポリオクテンエチレン)、PVB(ポリビニルブチラール)ポリマー材料からモノマー、オリゴマー、軟化剤の脱ガスを排出できるので、要求の厳しいソーラーラミネーションの用途に適しています。
当社のDRYVACは、過酷な産業環境に設置できる、コンパクトで水冷式の静かなドライスクリューポンプです。ポンプは、CIGS、CdTe、およびヘテロ接合などのPECVDおよびPVD薄膜コーティングプロセスで使用されるガスを処理するように設計されています。
大量のガスを輸送したり、低真空圧を達成して維持したりするには、強力なブースターポンプが必要です。当社の従来のRUVAC WA(U)およびWS(U)ブースターポンプは、革新的かつ密閉型のRUVAC WH(U)とともに、直接駆動または周波数コンバーターで駆動することができます。これにより、より高い回転速度で常時運転し、より高いポンプ速度に到達できます。250~7000 m³/hの容量により、あらゆるサイズの太陽電池真空システムを提供しています。
太陽光ラミネータの第3段階では、ステンレススチール製クロー付きのCLAWVACポンプが現場でのクリーニング機能により理想的です。定評あるSCREWLINE SP 630 Fに代わる優れた技術的な選択肢です
当社のVARODRYは、100%オイルフリー運転により、真空の清浄性を向上させるだけでなく、要求の厳しいソーラーコーティングとソーラー結晶引き上げ&成長プロセスで高い堅牢性を発揮し、オイルシールポンプよりも長い運転時間を実現します。
業界をリードする実績のあるSOGEVACオイルシールロータリーベーンポンプは、大型の建築用ガラスコーティングインラインPVDシステムのオイルシール標準です。これは、ロードロックの高速ダウンを実現する効率的なポンプであり、ドライスクリューポンプと比較して低価格です。
当社のTRIVAC - PFPEバージョンは、ソーラー結晶引き上げ&成長、特にシリコンカーバイドのアプリケーションのための標準的なオイルシールソリューションです。
ライボルトは、幅広いPHOENIXヘリウムリークディテクターおよびカスタマイズされた特殊システムを提供しています