フラットパネルディスプレイコーティング用の真空ソリューション

フラットパネルディスプレイ用の薄膜コーティング

あなたはおそらく、フラットパネルディスプレイからこのページをご覧のことでしょう。フラットパネルディスプレイの技術は、電子機器業界を変え、さまざまなデバイスを真のモバイルデバイスへと変えました。現在では、すべての車、住宅、そしてポケットの中でさえフラットパネルスクリーンがあります。これらはすべて、技術に関係なく、薄膜コーティングの生成に用いられる真空条件下で製造されます。この薄膜は、各ディスプレイの最終層として追加されます。

フラットパネルディスプレイの進化

フラットパネルディスプレイの歴史は1980年代半ばから始まり、ノートパソコンにLCD（液晶ディスプレイ）パネルが初めて採用されました。その後すぐに、液晶ディスプレイが発売され、「CRT（ブラウン管）テレビ」に取って代わりました。このかさばる重いコンピュータモニタは、前の時代の写真や映画で見たことがあると思います。2003年以降、液晶ディスプレイはCRTの販売台数を上回り、その勢いはとどまるところを知りません。

この技術は、文字通り小規模なものから始まりました。1990年の最初のLCDディスプレイのガラスサイズは、GEN1世代（200-300 x 200-400 mm）と呼ばれていました。それ以降、寸法は2018年にGEN11（2340 x 3370 mm）に到達するまで一貫して大きくなりました。生産増により、液晶テレビのサイズは年々大きくなっています。そのサイズが拡大するにつれ、ガラスの取り扱い、輸送、コーティングに関する生産機械サプライヤーへの技術的な要求も高まっていました。

液晶テレビのバックライト技術は、2010年頃から冷陰極蛍光ランプからダイナミックLEDバックライトに変化し、液晶技術が最先端になっています。

約5年後、OLED（有機発光ダイオード）と呼ばれる新技術が量産に向けて準備され、LCDの代替としての地位を確立しました。OLEDの利点には、低コスト、軽量、柔軟性、優れたエネルギー効率、高画質（特にカラーブラック）などがありました。

フラットパネルディスプレイ用の薄膜コーティング

真空状態で最初の液晶画面が製造され、ライボルト製品が製造に使用されています。コーティング機械メーカーは、プロセス要件に合わせて開発された完全な特注真空ソリューションを提供することを当社に期待しています。これには、すべてのメーカーのプロセスが固有であるため、製品の適応が必要になることがよくあります。

当社が提供する製品とそれらが取り組む課題は次のとおりです。

補助ポンプ（「前段真空」）：ロードロックチャンバでは、真空ポンプは非常に短いサイクル（1000～1mbarで2～3回/分の排気サイクル）で動作する必要があります。高速前段真空ポンプやプロセスチャンバ排出のために、インテリジェントPOWER BOOSTシステムなど、幅広い製品を取り揃えています。これらの完全なソリューションは、あらゆるハイテク生産プロセスに最適で、標準的なソリューションよりもスペースを取りません。
高真空ポンプ：プロセスチャンバでは、真空システムは高速なポンプ停止時間（5 x 10^-6 mbarまで）と、アルゴン、窒素、酸素の圧力範囲10^-2～10^-3 mbarのガス負荷での連続運転を達成する能力が必要です。オイルフリー、粉塵および振動のないプロセスチャンバが必要なプロセスでは、TURBOVAC i、TURBOVAC MAGまたはCOOLVACポンプが最適な選択肢です。
プロセス条件を単純化するには、DIJやDIPなどの拡散ポンプを推奨します。
どのような高真空システムを選択する場合でも、不活性およびプロセスガス混合物の高負荷で長時間連続的に運転する能力が必要であることに注意してください。
メンテナンスおよびスペアパーツ：プロセスを確実に実行することは、ディスプレイ製造工場において非常に重要です。予期しない休止時間は非常に高くつき、最終製品に悪影響を与える可能性があります。そのため、最適なポンプ技術に投資し、高品質の部品と消耗品を選択し、適切なメンテナンスを行うことをお勧めします。ライボルト技術者は、最も適切なメンテナンススケジュールを推奨し、スペアパーツおよび消耗品についてアドバイスすることで、お客様のプロセスをサポートします。
プロセス制御ソリューション：正確な真空測定ソリューションを導入することで、真空システムの性能を常に把握できます。すべての圧力範囲をカバーする堅牢なプロセスゲージのポートフォリオをご用意しています。
システム統合：真空ポンプが相互に通信できることを確認します。常に、互いに適合する機器を選択してください。当社は、お客様のコーティングプロセスの正確なニーズに合わせて、さまざまなタイプのPLCおよび制御ソリューションを提供します。