精密な真空計測
静電容量真空計
ガスに依存しない直接計測テクノロジー
あらゆる環境で高レベルの正確性と迅速な応答時間を提供
これらのゲージは主に大規模な設置で使用され、主に0~10 V出力(またはDI/DU範囲でオプションの4~20 mA出力)を介してPLCに直接統合されています。
研究&開発での使用などの小規模な設置では、アクティブゲージコントローラーとの互換性が維持されます。
- CERAVAC CTR
- DI/DUピエゾ
CERAVAC CTR静電容量真空計
長年にわたる信頼性の高い性能を提供します。
高精度、高速応答時間、堅牢なセラミックダイヤフラムにより、1000~1 x 10-4mbar(1 x 10-5Torr)の計測に非常に優れています。
DI/DUピエゾ抵抗 / 容量性真空計
汚れた環境や湿気のある環境に適した、コスト効率の高い代替手段です。
高精度で非常に堅牢なセンサを備えており、2000 mbar(1500Torr)~0.1 mbar/torrの計測が可能です。