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LEYSPEC Cart

モバイルポンプステーション

独立した残留ガス分析に最適な排気ステーション

LEYSPECカートでは、次の機能を組み合わせています。

複数の製造ツールに必要なすべてのメリットを1つの機器で提供します。

モバイルモジュラーカート

LEYSPECカートは、圧力にかかわらず、効率的で柔軟なガス分析を提供します。 

  • 精密供給UHVバルブを使用して、あらゆるプロセスに接続できます。
  • 全金属構造により、残留ガス分析中のクリーンな操作が可能になり、ベークアウトができます。

完全にモバイル化:多くのプロセスやアプリケーションにおいて、必要なところで実行できます。

主な特長:

迅速な測定の準備

TURBOLAB排気ステーションによる統合プロセス制御

極めて容易で直感的なLEYSPECソフトウェアの操作により、長時間のトレーニングが不要

プロセスまたはチャンバーの任意なポイントでのモバイル残留ガス分析

常時可能なベークアウトにより、プロセスガスに完全に焦点を当てることができます

大気圧下でも実行可能な、圧力に依存しない残留ガス分析

マーケットとアプリケーション:

LEYSPECカートは、より高い真空圧を必要とする多くの用途に対応します。

これらのモバイルポンプステーションは、次のような作業においてメリットが大きくなります。

  • コーティング、
  • スチール脱ガス
  • 産業用乾燥。 

ただし、ガス分析が必要なその他のすべての市場でも、このポンプシステムによるメリットがあります。

LEYSPEC Carts

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