ハードウェア
大まかなレベルから超高真空まで。要な接続基準をすべて網羅し、完全な真空システムをご利用いただけます。
真空度を問わず、お客様のシステムを接続するための幅広いコンポーネントを提供できます。
主な特長：
- ISO-KF
- ISO-K/ISO-F
- CF
- フィードスルー
ISO-KF
ISO-KF接続は、ライボルトによって開発され、現在ではあらゆる真空用途において世界中の小型継手(内径 50 mmまで)に使用されている主要なフランジタイプです。
クイックリリースクランプにより真空システム内のコンポーネントをすばやく取り付け、交換できるため、QF（Quick Flange）という別名があります。
各接続部は、2つの対称なISO-KFフランジ、Oリングガスケット付きのセンタリング、およびクランプリングで構成されています。ツールを使用せずに、クランプリングのウィングナットを回すだけで、高真空度のISO-KF接続が可能です。
通常、10-7 mbar/torrまでの圧力に適しており、最大5 barまでの圧力に耐えることができます。また、メタルシールを使用する場合は最大200 °C、FPMガスケットを使用する場合は150 °Cまでのベーキングが可能です。
しかし、主な特長は、ツールを必要としない組立の速さであり、真空の密閉性を提供することです。
ISO-K/ISO-F
口径が大きい場合は、ISO-KおよびISO-Fの継手が一般的です。
- クランプをボルトで固定するのではなく、フランジの周囲の任意の位置にクランプを配置できるため、ISO-K継手が使用される場合が多くなります。
- ISO-Fフランジは、フランジの強度が高いため、構造エレメントとしても使用されています。
これらのフランジタイプは、DN 63からDN 630までの内径（チューブ直径70～650 mm）のサイズ範囲に対応しています。センタリングリングはフランジのセンタリング溝にしっかりと挿入できるため、水平接続でもすばやく容易に取り付けることができます。
このタイプの接続では、メタルガスケットを使用した場合、10-9 mbar までの圧力を達成できます。メタルフランジの使用時は最大200 °Cまで、FPM使用時は150 °Cまでのベークアウトが可能です。
CF
CFフランジ接続部は、2つの形状的に同一のフランジと、OFHC銅製のフラットガスケット、ボルト、ナット、ワッシャーで構成されています。
CFコンポーネントは、厳選された耐食性に優れたステンレス鋼製です。このタイプのシーリングは非常に強く、ベーキングを必要とするUHV圧力に到達する必要がある場合はCFフランジが使用されます。（すべてのメタルシーリングに適しています）。
すべてのコンポーネントは内部で溶接されており、いわゆる仮想的なリークの原因となる亀裂やポケットホールを最初から発生しないようにしています。
DN 16 CFから DN 250 CFまで（ID16 mmから250 mmまで）のサイズがあり、超高真空圧を得るために使用されるゲージ、イオンポンプ、ターボ分子ポンプに多く使用されています。
フィードスルー
内部の制御や真空への電力供給の必要性は、フィードスルーを介して処理されます。
標準フィードスルーおよび高電流フィードスルーのさまざまなフィードスルーを取り揃えています。真空システムに力/物体を伝達するための回転式、液体式、回転式/直線式があります。
