ガラス表面の真空コーティング
建築用ガラスコーティングおよび自動車用ガラス
今日見られるガラスの表面は、紀元前2500年頃に発明された最初のガラスから大きく進化しています。現在はどのガラスにも薄いフィルムがコーティングされており、透過する光量や太陽熱に影響を与えています。このような薄膜コーティングガラスは、使用される建物や車両内の快適性を向上させ、換気や空調システムの効率までも向上させています。
ガラスコーティングは、ガラス表面の色や反射、さらには外観にも影響を与えます。現代都市の高層ビル群の外観には、真空コーティングされたガラスを使用して断熱性と美的な外観のための適切な色を確保しています。
ガラス製造における真空スパッタリング
PVD（物理蒸着）による真空スパッタリングは、コーティングされたガラスの製造で最も一般的なプロセスです。このプロセスでは、材料を真空チャンバーに入れ、「スパッタリング」と呼ばれるプロセスを行う必要があります。ここでは、アルゴン、窒素、酸素などのプロセスガスを使用して、金属、金属酸化物、窒化物層をガラスに堆積させます。この真空スパッタリングプロセスにより、組成や厚さが異なる複数の層からなるコーティングがガラスに蒸着されます。通常24時間365日稼働するPVD装置は、このプロセスを担う真空システムの一部です。そのため、PVD装置メーカーは、連続生産に対応する耐久性と堅牢性に優れた真空ポンプを求めています。
ライボルトが提供する、真空スパッタリングアプリケーションに求められるすべての製品
- バックポンプ（「フォア」バキューム）：ロードロックチャンバーを排気するために使用される、高速で耐久性の高い粗引きポンプであり、ガラスパネルをプロセスチャンバーに極めて短いサイクルでロードできるようになります。通常、1分間に2～3回の排気サイクルが生じ、圧力は1000～1 mbarになります。当社は、SCREWLINE、POWER BOOST、DRYVAC、SOGEVAC、RUVACポンプなど、さまざまな粗引き真空ポンプを提供しています。
- 高真空ポンプ：プロセスチャンバー内では、真空システムは5x10-6 mbar まですばやく排気したり、アルゴン、窒素、酸素のガス負荷がある中で10-2～10-3 mbarの圧力範囲で連続動作する必要があります。
オイルやダストを完全に排除しなければならないプロセスチャンバー内の高真空排気には、TURBOVAC i、TURBOVAC MAGおよびCOOLVACポンプシリーズをお勧めします。より簡単なプロセス条件用に、拡散ポンプ（DIJおよびDIP）を提供しています。どの高真空システムを選ぶにしても、不活性ガスとプロセスガスの混合ガスを高負荷で長時間連続運転できることが重要であることを念頭に置いてください。
- メンテナンスおよびスペアパーツ：当社の真空ポンプでは、最高品質の部品が保証されていますが、それらの安定した稼働を維持するために、定期的なメンテナンスプログラムをお勧めします。ライボルトの技術者は、最適なメンテナンススケジュールを提案し、スペアパーツや消耗品についてアドバイスすることで、お客様のプロセスをサポートします。
- プロセス制御：当社の幅広い真空計シリーズを使用すれば、真空システムを常時完全に制御できます。当社は、あらゆる圧力範囲に対応する真空計を取り揃えており、お客様の業務に最適な選択肢をアドバイスしています。
- トータルシステムインテグレーション：ライボルトのポンプはすべて、完全に適合するように設計されています。高度なプロセス制御が必要な場合は、PLCソリューションを構築し、さまざまな電子コントローラーを提供することができます。
