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TURBOVACi-iX Group

TURBOVAC iシリーズ

高ターボ分子真空ポンプ

排気速度が 90~1450 l/s のターボ分子真空ポンプのモジュラー製品ライン

TURBOVAC iシリーズは、ハイブリッドロータベアリングを採用しています。フォア真空側のベアリングは永久潤滑のセラミックボールベアリング、高真空側のベアリングは摩耗のないマグネットベアリングが実装されています。  

これらすべてのタイプのベアリングで一般的なのは、ポンプの停止時などにポンプ動作がないため、真空チャンバー内に拡散する可能性がある潤滑オイルを必要としないことです。 

ターボ分子ポンプは大気圧に対して直接圧縮することができないため、運転には常に十分な定格のフォアバキュームポンプが必要ですが、当社はこれも提供しています。流量と到達圧力の要件に応じて、システム要件に合わせてさまざまなフォアバキュームポンプをご用意しています。 

TURBOVAC i

The TURBOVAC i turbomolecular vacuum pumps are available with two selectable interfaces. The compact standard interface has RS485, USB & Digital I/O interfaces with 3 status LED's and the possibility to control 1 accessory. The Anybus interface is a step up with full field bus support and the option to upgrade to IP54 water & dust ingression resistance.

Hybrid turbomolecular vacuum pump

TURBOVAC iX

TURBOVAC iX extends the functionality of your pump enabling it to act as your controller in your vacuum system. The iX range also comes with full communication protocol and fieldbus support. Control up to 6 accessories as well as your backing pump, making these models a true vacuum solution.

Hybrid turbomolecular vacuum pump

TURBOVAC iR

The TURBOVAC iR hybrid turbomolecular vacuum pumps have been developed to fulfil the requirements of demanding applications where high ionizing radiation is surrounding while providing the needed vacuum; these pumps a remotely operable at distances of up to 200 m.

TURBOVAC 350 iR connection left

優れた性能

TURBOVAC iターボ分子ポンプには、さまざまなプロセスおよびガス流量が増加する要求の厳しい用途で、信頼性が高く安定した性能を発揮するよう設計された独自のポンプステージを備えています。 

TURBOVAC iシリーズは、排気速度性能と圧縮比の両方を最適化するように設計されています。90~1450 l/sの幅広い性能範囲で、軽ガス排気速度も含まれます。

ストレスフリーの操作性

TURBOVAC iシリーズは、機械的な衝撃や過酷なベントに対する堅牢なソリューションであり、システム稼働時間を保証します。

このFit & Forgetのポンプシリーズは、使いやすく信頼性が高く、エンドユーザーが予防保全を容易に実施できます。

高い柔軟性

TURBOVAC iシリーズには、UHV(超高真空)、スループット、およびリモート電子機器による放射線堅牢オプションをカバーするモデルがあり、性能損失なしで最大200 mの距離でポンプを動作させることができます。空気冷却と水冷却のオプションもあります。これらの高真空ポンプは、任意の方向に取り付けることができます。

シングルインレットポンプの他に、マルチインレット、カートリッジポンプ、カスタマイズ製品など、お客様重視のエンジニアリングチームを通じて、豊富な製品を提供しています。マルチインレット / スプリットフローまたは特定の派生品をお探しの場合は、当社までお問い合わせください。

パーティクルに対する高い耐性

TURBOVACの設計上の利点の1つは、多くの産業アプリケーションで発生する可能性がある機械的な衝撃や過酷なベントに対する感度が低いことです。

TURBOVAC iターボ分子ポンプは、標準として保護等級IP 40を取得していますが、TURBOVAC 850 i以上のサイズのポンプはIP 54にアップグレードできます。これらのモデルは、特に過酷な環境での使用に適しており、すべてのコンポーネントのシーリングが向上しているため、水やダストの侵入に対する耐性が高くなっています。

低いコストとメンテナンス

TURBOVAC iは、お客様の用途において磁気ベアリングを備えた独自のオイルフリーハイブリッドベアリングコンセプトにより、メンテナンスフリーの操作とプロセスの汚染ゼロを保証します。モータ側では、永久潤滑式セラミックボールベアリングを採用し、メンテナンスキットを使用してエンドユーザー自身が交換できるため、低所有コストでの運用が可能です。

TURBOVAC 850 i~1450 iのメンテナンスは、ベアリングの状態を確認し、サービスが差し迫っていることを警告するスマートシステムにより簡素化されます。 

スマートインターフェースと直感的なソフトウェアプラットホーム

TURBOVACの全モデルは、次世代のソフトウェアLeyassistを使用して容易に制御、設定、モニタリングできます。Leyassistは、最新の直感的なソフトウェアプラットホームを提供し、すべてのお客様が無料で使用できます。 

TURBOVAC iポンプは、コンパクトなインターフェースで最大2つのアクセサリーを制御でき、基本的なRS485、USB、およびDIGITAL I/O制御も可能です。必要に応じて、インターフェースは、ポンプから取り外すこともできます。 

アップグレードされたインターフェースは、水やダストの侵入を防ぐためにIP54で保護されており、インテリジェントなAnybusシステムも搭載されています。このソリューションは、完全なフィールドバスをサポートし、2つのセンサー / ゲージまたはその他のアクセサリーの統合を簡素化します。

TURBOVACシリーズは、あらゆるフィールドバスサポートも提供しています。"Anybus"と呼ばれるこのユニバーサルな製品により、Profibus、Ethernet IP、PROFINET、および選択可能なモジュールを介したEtherCAT経由の通信が可能です。

TURBOVAC iXは、Anybusインターフェースにより、フォアバキュームポンプと最大6つのアクセサリー、ゲージインターフェースを制御し、ポンプを完全な真空制御ソリューションに変えることができます。

High resistance against radiations

The new variants of the turbomolecular pump series TURBOVAC iR show a radiation resistance up to 1 MGray. Thanks to this exceptional tolerance against radiations the performance of the TURBOVAC iR pumps is assured and so is the operation of your application.

Why TURBOVAC iR?