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TURBOVACi-iX Group

TURBOVAC i/iX

高ターボ分子真空ポンプ

排気速度が 90~1450 l/s のターボ分子真空ポンプのモジュラー製品ライン

TURBOVAC i/iXは、ハイブリッドローターベアリングを採用しています。フォアバキューム側のベアリングは永久潤滑のセラミックボールベアリング、高真空側のベアリングは摩耗のないマグネットベアリングが実装されています。  

これらすべてのタイプのベアリングで一般的なのは、ポンプの停止時などにポンプ動作がないため、真空チャンバー内に拡散する可能性がある潤滑オイルを必要としないことです。 

ターボ分子ポンプは大気圧に対して直接圧縮することができないため、運転には常に十分な定格のフォアバキュームポンプが必要ですが、当社はこれも提供しています。流量と到達圧力の要件に応じて、システム要件に合わせてさまざまなフォアバキュームポンプをご用意しています。 

優れた性能

TURBOVAC i/iXターボ分子ポンプには、さまざまなプロセスおよびガス流量が増加する要求の厳しいアプリケーションで、信頼性が高く安定した性能を発揮するよう設計された独自のポンプステージを備えています。 

TURBOVAC i/iXシリーズは、排気速度性能と圧縮比の両方を最適化するように設計されています。幅広い性能範囲は90~1450 l/sで、軽ガス排気速度も含まれます。

ストレスフリーの操作性

TURBOVAC i/iXシリーズは、機械的な衝撃や過酷なベントに対する堅牢なソリューションであり、システム稼働時間を保証します。

このFit & Forgetのポンプシリーズは、使いやすく信頼性が高く、エンドユーザーが予防保全を容易に実施できます。

高い柔軟性

TURBOVAC i/iXシリーズには、UHV(超高真空)、スループット、およびリモート電子機器を備えた耐放射線オプションのモデルがあります。空冷および水冷のオプションもあります。これらの高真空ポンプは、どの方向にも設置できます。

シングルインレットポンプの他に、マルチインレット、カートリッジポンプ、カスタマイズ製品など、お客様重視のエンジニアリングチームを通じて、豊富な製品を提供しています。マルチインレット / スプリットフローまたは特定の派生品をお探しの場合は、当社までお問い合わせください。

パーティクルに対する高い耐性

TURBOVACの設計上の利点の1つは、多くの産業アプリケーションで発生する可能性がある機械的な衝撃や過酷なベントに対する感度が低いことです。

TURBOVAC i/iXターボ分子ポンプは、標準として保護等級IP 40を取得していますが、TURBOVAC 850 i以上のサイズのポンプはIP 54にアップグレードできます。これらのモデルは、特に過酷な環境での使用に適しており、すべてのコンポーネントのシーリングが向上しているため、水やダストの侵入に対する耐性が高くなっています。

低いコストとメンテナンス

TURBOVAC i/iXは、お客様のアプリケーションにおいて磁気ベアリングを備えた独自のオイルフリーハイブリッドベアリングコンセプトにより、メンテナンスフリーの操作とプロセスの汚染ゼロを保証します。モーター側では、永久潤滑式セラミックボールベアリングを採用し、メンテナンスキットを使用してエンドユーザー自身が交換できるため、低所有コストでの運用が可能です。

TURBOVAC 850 i~1450 iのメンテナンスは、ベアリングの状態を確認し、サービスが差し迫っていることを警告するスマートシステムにより簡素化されます。 

スマートインターフェースと直感的なソフトウェアプラットホーム

TURBOVACの全モデルは、次世代のソフトウェアLeyassistを使用して容易に制御、設定、モニタリングできます。Leyassistは、最新の直感的なソフトウェアプラットホームを提供し、すべてのお客様が無料で使用できます。 

TURBOVAC iポンプは、コンパクトなインターフェースで最大2つのアクセサリーを制御でき、基本的なRS485、USB、およびDIGITAL I/O制御も可能です。必要に応じて、インターフェースは、ポンプから取り外すこともできます。 

アップグレードされたインターフェースは、水やダストの侵入を防ぐためにIP54で保護されており、インテリジェントなAnybusシステムも搭載されています。このソリューションは、完全なフィールドバスをサポートし、2つのセンサー / ゲージまたはその他のアクセサリーの統合を簡素化します。

TURBOVACシリーズは、あらゆるフィールドバスサポートも提供しています。"Anybus"と呼ばれるこのユニバーサルな製品により、Profibus、Ethernet IP、PROFINET、および選択可能なモジュールを介したEtherCAT経由の通信が可能です。

TURBOVAC iXは、Anybusインターフェースにより、フォアバキュームポンプと最大6つのアクセサリー、ゲージインターフェースを制御し、ポンプを完全な真空制御ソリューションに変えることができます。

Why TURBOVAC i?

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