UNIVEXコーティングシステム
UNIVEXシステムシリーズは、大学や産業研究、パイロット生産における実験コーティングや、薄膜蒸着アプリケーションに適しています。
薄膜真空コーティング製品
ライボルトのUNIVEXコーティングファミリーには、以下のシステムがあります。
- ボックスコーティングシステム
- グローブボックスシステム
- 指紋鑑定システム
- クラスタツールとカスタマイズソリューション
UNIVEXコーティング製品は、モジュール設計により、お客様のニーズの大部分をカバーするきわめて洗練されたシステムです。
UNIVEXシステムは、ライボルト製の真空コンポーネントを装備しています。これらのポンプシステムには、各チャンバーサイズおよびアプリケーションに適合するように十分な配慮がなされています。ライボルトは、ドライまたは油封式の幅広いバックポンプを用意しており、ターボ分子ポンプや極低温ポンプなどの、高真空ポンプの取り付けが可能です。
主な目的は、薄膜コーティングの物理蒸着（PVD）プロセスにおいて、信頼性の高い真空環境を提供することです。システムのプロセス機器は、蒸着源（熱、電子ビーム、有機物）、スパッタリング源、各種の基板処理（加熱、冷却など）などで構成されています。
これらのシステムは、お客様固有のニーズに合わせてカスタマイズ可能です。
