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UNIVEX Coating Systems

UNIVEXコーティングシステム

UNIVEXシステムシリーズは、大学や産業研究、パイロット生産における実験コーティングや、薄膜蒸着アプリケーションに適しています。

薄膜真空コーティング製品

ライボルトのUNIVEXコーティングファミリーには、以下のシステムがあります。

  • ボックスコーティングシステム
  • グローブボックスシステム
  • 指紋鑑定システム
  • クラスタツールとカスタマイズソリューション

UNIVEXコーティング製品は、モジュール設計により、お客様のニーズの大部分をカバーするきわめて洗練されたシステムです。 

UNIVEXシステムは、ライボルト製の真空コンポーネントを装備しています。これらのポンプシステムには、各チャンバーサイズおよびアプリケーションに適合するように十分な配慮がなされています。ライボルトは、ドライまたは油封式の幅広いバックポンプを用意しており、ターボ分子ポンプや極低温ポンプなどの、高真空ポンプの取り付けが可能です。 

主な目的は、薄膜コーティングの物理蒸着(PVD)プロセスにおいて、信頼性の高い真空環境を提供することです。システムのプロセス機器は、蒸着源(熱、電子ビーム、有機物)、スパッタリング源、各種の基板処理(加熱、冷却など)などで構成されています。

これらのシステムは、お客様固有のニーズに合わせてカスタマイズ可能です。