ロール to ロールコーティング用の真空ソリューション
柔軟性のある材料の薄膜コーティング
柔軟性に優れた電子部品やソーラーパネルがどのように作られているのか不思議に思ったことはありませんか？最も一般的でありながら、最もハイテクなコーティングプロセスのひとつが「ロール to ロールコーティング」（R2R）と呼ばれるもので、多くの材料や製品で採用されている製造方法です。
ロール to ロール（R2R）フィルムコーティングマシンは、ポリマーやさまざまな金属でできた柔軟性のあるあらゆる素材にコーティングを施すことができます。これらの材料は、その特性を変えたり、磨耗や周囲の条件から保護したりするためにコーティングされます。そのアプリケーションは無限にあります。ここでは、真空を使用してコーティングされた圧延材料の例をいくつかご紹介します。
PVD、PECVD、熱蒸着用の真空システム
真空を必要とするロール to ロールコーティングプロセスには、物理蒸着（PVD）、プラズマ化学気相堆積（PECVD）、熱蒸着という3つがあり、いずれも圧力範囲10-1～10-3 mbarの真空条件が必要です。
これらのコーティングアプリケーションは要求が厳しいため、真空ポンプには次のような具体的な課題があります。
- 貴重な処理時間を節約するための高速チャンバー排気
- 高いガススループット
- 最終製品に応じて、最高の製品品質を達成するためにオイルフリーおよびダストフリーの真空を使用
- 確実な運転
- 最適化された運用コスト（TCO）
- 正確なプロセス制御
ライボルトでは、ロール to ロールコーティングアプリケーションの真空ソリューションを提供してきた長い実績があり、これらのタイプのアプリケーションのすべての真空要件を満たす真空ポンプ技術を提供するために、この専門知識をすべて収集しています。
