IONIVAC

熱陰極ベヤードアルパート

IONIVACを選ぶ理由

当社のIONIVAC真空計シリーズは、パッシブ（IE）でもアクティブ（ITR）でも、超高真空状態を計測できます。これにより、実験の詳細な追跡と、プロセス内の変数の制御が可能になります。

IONIVAC熱陰極真空計は、高温のカソードから電子が放出され、それがアノードに衝突することで機能します。測定されたガスはイオン化されます。結果として得られる正のイオン電流は第3の電極で検出され、この電流は圧力に比例した信号として使用されます。

熱陰極イオン化センサーは、使用される熱陰極技術のタイプに応じて、10^-12～10^-1 mbar（0.75·10^-10～0.75·10^-1 Torr)の幅広い測定範囲を提供します。

最適化された結合型トランスミッター

IONIVAC ITRは最適化された結合型トランスミッタです。熱陰極イオン化センサ（べヤードアルパート法を使用した熱陰極イオン化）とピラニセンサを組み合わせることで、5 . 10^-10～1000 mbar(3.75 . 10^-10～750 torr)の真空圧測定が可能です。

2つの主なモデル

ITR 90（単相の熱陰極フィラメント付き）
ITR 200にはデュアルフィラメントを採用し、冗長性を持たせて寿命を延ばします。故障が発生した場合はフィラメントが自動的に切り替わり、フィラメントが故障したことを表示します。ゲージの寿命をさらに延ばすために、脱ガスプログラムを実行して、フィラメントの性能を再活性化できます。

UHV測定範囲の最上位

IONIVAC IEシリーズは、超高真空測定の「ロールスロイス」で、超低ベース圧力の読み取りと高精度を実現します。

パッシブゲージコントローラーと組み合わせて、最低レベルでの詳細な圧力計測値が必要な環境で使用されます。

パッシブIONIVAC IEセンサーは、熱陰極イオン化テクノロジーにより、最低圧力まで計測できます。

IE 414は、べヤードアルパートテクノロジーを利用し、2 . 10-11～e-2 mbar(1.5 e-11～e-2 torr)で測定できます。
最低圧力に達するには、X線の影響を減らす必要があります。IE 514シリーズの真空計では、熱陰極イオン化の抽出法を利用して、これを実現します。このセンサ技術により、2e-12～1e-4 mbar (2e-12～7.5e-5 torr) の範囲で読み取りが可能です。