当社のIONIVAC真空計シリーズは、パッシブ(IE)でもアクティブ(ITR)でも、超高真空状態を計測できます。これにより、実験の詳細な追跡と、プロセス内の変数の制御が可能になります。
IONIVAC熱陰極真空計は、高温のカソードから電子が放出され、それがアノードに衝突することで機能します。測定されたガスはイオン化されます。結果として得られる正のイオン電流は第3の電極で検出され、この電流は圧力に比例した信号として使用されます。
熱陰極イオン化センサーは、使用される熱陰極技術のタイプに応じて、10-12 ~10-1 mbar(0.75·10-10~0.75·10-1 Torr)の幅広い測定範囲を提供します。
最適化された結合型トランスミッター
IONIVAC ITRは最適化された結合型トランスミッタです。熱陰極イオン化センサ(べヤードアルパート法を使用した熱陰極イオン化)とピラニセンサを組み合わせることで、5 . 10-10 ~1000 mbar(3.75 . 10-10 ~750 torr)の真空圧測定が可能です。
2つの主なモデル
UHV測定範囲の最上位
IONIVAC IEシリーズは、超高真空測定の「ロールスロイス」で、超低ベース圧力の読み取りと高精度を実現します。
パッシブゲージコントローラーと組み合わせて、最低レベルでの詳細な圧力計測値が必要な環境で使用されます。
パッシブIONIVAC IEセンサーは、熱陰極イオン化テクノロジーにより、最低圧力まで計測できます。