IONIVAC 熱陰極ベヤードアルパート
IONIVACを選ぶ理由
当社のIONIVAC真空計シリーズは、パッシブ（IE）でもアクティブ（ITR）でも、超高真空状態を計測できます。これにより、実験の詳細な追跡と、プロセス内の変数の制御が可能になります。
IONIVAC熱陰極真空計は、高温のカソードから電子が放出され、それがアノードに衝突することで機能します。測定されたガスはイオン化されます。結果として得られる正のイオン電流は第3の電極で検出され、この電流は圧力に比例した信号として使用されます。
熱陰極イオン化センサーは、使用される熱陰極技術のタイプに応じて、10-12 ～10-1 mbar（0.75·10-10～0.75·10-1 Torr)の幅広い測定範囲を提供します。
- IONIVAC ITR 90/200シリーズ
- IONIVAC IE 414/IE 514シリーズ
IONIVAC ITR 90/200シリーズ
IONIVAC ITR 90/200シリーズ
最適化された結合型トランスミッター
IONIVAC ITRは最適化された結合型トランスミッタです。熱陰極イオン化センサ（べヤードアルパート法を使用した熱陰極イオン化）とピラニセンサを組み合わせることで、5 . 10-10 ～1000 mbar(3.75 . 10-10 ～750 torr)の真空圧測定が可能です。
2つの主なモデル
- ITR 90（単相の熱陰極フィラメント付き）
- ITR 200にはデュアルフィラメントを採用し、冗長性を持たせて寿命を延ばします。故障が発生した場合はフィラメントが自動的に切り替わり、フィラメントが故障したことを表示します。ゲージの寿命をさらに延ばすために、脱ガスプログラムを実行して、フィラメントの性能を再活性化できます。
- 1 . 10-10 mbar/torr～大気圧までの連続的な圧力計測が可能
- 交換可能な陰極と脱ガスモードを備えたコンパクトな設計
- UHV測定を可能にするベーキング可能センサー
- アナログ、ディスプレイ、デジタル、およびProfibusインターフェースを容易に設置可能
- 10-2～10-9 mbarの一般的なプロセス圧力範囲内での高い再現性
- パッシブゲージによる正確なUHV圧力測定により、10-12 mbar/torrまでの計測が可能
IONIVAC IE 414/IE 514シリーズ
IONIVAC IE 414/IE 514シリーズ
UHV測定範囲の最上位
IONIVAC IEシリーズは、超高真空測定の「ロールスロイス」で、超低ベース圧力の読み取りと高精度を実現します。
パッシブゲージコントローラーと組み合わせて、最低レベルでの詳細な圧力計測値が必要な環境で使用されます。
パッシブIONIVAC IEセンサーは、熱陰極イオン化テクノロジーにより、最低圧力まで計測できます。
- IE 414は、べヤードアルパートテクノロジーを利用し、2 . 10-11～e-2 mbar(1.5 e-11～e-2 torr)で測定できます。
- 最低圧力に達するには、X線の影響を減らす必要があります。IE 514シリーズの真空計では、熱陰極イオン化の抽出法を利用して、これを実現します。このセンサ技術により、2e-12～1e-4 mbar (2e-12～7.5e-5 torr) の範囲で読み取りが可能です。
IONIVAC ITR 90/200シリーズ
最適化された結合型トランスミッター
IONIVAC ITRは最適化された結合型トランスミッタです。熱陰極イオン化センサ（べヤードアルパート法を使用した熱陰極イオン化）とピラニセンサを組み合わせることで、5 . 10-10 ～1000 mbar(3.75 . 10-10 ～750 torr)の真空圧測定が可能です。
2つの主なモデル
- ITR 90（単相の熱陰極フィラメント付き）
- ITR 200にはデュアルフィラメントを採用し、冗長性を持たせて寿命を延ばします。故障が発生した場合はフィラメントが自動的に切り替わり、フィラメントが故障したことを表示します。ゲージの寿命をさらに延ばすために、脱ガスプログラムを実行して、フィラメントの性能を再活性化できます。
- 1 . 10-10 mbar/torr～大気圧までの連続的な圧力計測が可能
- 交換可能な陰極と脱ガスモードを備えたコンパクトな設計
- UHV測定を可能にするベーキング可能センサー
- アナログ、ディスプレイ、デジタル、およびProfibusインターフェースを容易に設置可能
- 10-2～10-9 mbarの一般的なプロセス圧力範囲内での高い再現性
- パッシブゲージによる正確なUHV圧力測定により、10-12 mbar/torrまでの計測が可能
IONIVAC IE 414/IE 514シリーズ
UHV測定範囲の最上位
IONIVAC IEシリーズは、超高真空測定の「ロールスロイス」で、超低ベース圧力の読み取りと高精度を実現します。
パッシブゲージコントローラーと組み合わせて、最低レベルでの詳細な圧力計測値が必要な環境で使用されます。
パッシブIONIVAC IEセンサーは、熱陰極イオン化テクノロジーにより、最低圧力まで計測できます。
- IE 414は、べヤードアルパートテクノロジーを利用し、2 . 10-11～e-2 mbar(1.5 e-11～e-2 torr)で測定できます。
- 最低圧力に達するには、X線の影響を減らす必要があります。IE 514シリーズの真空計では、熱陰極イオン化の抽出法を利用して、これを実現します。このセンサ技術により、2e-12～1e-4 mbar (2e-12～7.5e-5 torr) の範囲で読み取りが可能です。
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