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IONIVAC ITR 90

IONIVAC

熱陰極ベヤードアルパート

IONIVACを選ぶ理由

当社のIONIVAC真空計シリーズは、パッシブ(IE)でもアクティブ(ITR)でも、超高真空状態を計測できます。これにより、実験の詳細な追跡と、プロセス内の変数の制御が可能になります。 

IONIVAC熱陰極真空計は、高温のカソードから電子が放出され、それがアノードに衝突することで機能します。測定されたガスはイオン化されます。結果として得られる正のイオン電流は第3の電極で検出され、この電流は圧力に比例した信号として使用されます。 

熱陰極イオン化センサーは、使用される熱陰極技術のタイプに応じて、10-12 ~10-1 mbar(0.75·10-10~0.75·10-1 Torr)の幅広い測定範囲を提供します。

IONIVAC ITR90/200シリーズ

最適化された結合型トランスミッター

IONIVAC ITRは最適化された結合型トランスミッターです。熱陰極イオン化センサー(べヤードアルパート法を使用した熱陰極イオン化)とピラニセンサーを組み合わせることで、5 . 10-10 ~1000 mbar(3.75 . 10-10 ~750 torr)の真空圧測定が可能です。 

2つの主なモデル

  • ITR 90(単相の熱陰極フィラメント付き)
  • ITR 200にはデュアルフィラメントを採用し、冗長性を持たせて寿命を延ばします。故障が発生した場合はフィラメントが自動的に切り替わり、フィラメントが故障したことを表示します。ゲージの寿命をさらに延ばすために、脱ガスプログラムを実行して、フィラメントの性能を再活性化できます。 

2種類のIONIVAC ITRでは、アナログ、デジタル、およびProfibusインターフェースを使用できます。また、オプションでローカル圧力表示用の内蔵ディスプレイも用意しています。 

これらのゲージのサービスを行う場合、センサーの校正はゲージヘッドに保持されるため、チューブを交換すると、ゲージは事前に校正され、ゼロ / 大気圧の校正を必要とせずに、すぐに正確な状態になります。

手に入ります:

  • 1 . 10-10 mbar/torr~大気圧までの連続的な圧力計測が可能  
  • 交換可能な陰極と脱ガスモードを備えたコンパクトな設計 
  • UHV測定を可能にするベーキング可能センサー 
  • アナログ、ディスプレイ、デジタル、およびProfibusインターフェースを容易に設置可能 
  • 10-2~10-9 mbarの一般的なプロセス圧力範囲内での高い再現性  
  • パッシブゲージによる正確なUHV圧力測定により、e-12 mbar/torrまでの計測が可能  
IONIVAC ITR 90

IONIVAC IE 414/IE 514シリーズ

UHV測定範囲の最上位

IONIVAC IEシリーズは、超高真空測定の「ロールスロイス」で、超低ベース圧力の読み取りと高精度を実現します。 

パッシブゲージコントローラーと組み合わせて、最低レベルでの詳細な圧力計測値が必要な環境で使用されます。 

パッシブIONIVAC IEセンサーは、熱陰極イオン化テクノロジーにより、最低圧力まで計測できます。 

  • IE 414はべヤードアルパートテクノロジーを利用し、2 . 10-11 ~e-2 mbar(1.5 e-11~e-2 torr)で測定できます。 
  • 最低圧力に達するには、X線の影響を減らす必要があります。IE 514シリーズの真空計では、熱陰極イオン化の抽出法を利用して、これを実現します。このセンサー技術により、2e-12~1e-4 mbar (2e-12~7.5e-5 torr)の範囲で読み取りが可能です。