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機械式、ハイブリッド、磁気浮上式の高真空ポンプ

ターボ分子真空ポンプは、核融合の研究開発や、コーティング産業や分析機器などの産業分野で、クリーンな高真空または超高真空を必要とするアプリケーションに使用されます。  

原則として、ターボ分子ポンプは、タービンの各ステージに多数のローターブレードが装着されたハウジング内で急速に回転するタービンです。回転するローターブレードの間にはブレードが反対方向に配置された固定ステーターディスクがあります。  

回転するローターブレードからガス分子への運動量伝達によって、ガス分子は、最初は無指向性の熱運動が、ポンプの吸気フランジからホあバキュームフランジに向かって軸方向で指向性運動に変化します。  

分子流量範囲(10-3mbar(0.75 x 10-3Torr)未満の圧力)では、ガス分子の平均自由行程はローターとステーターブレード間の間隔よりも大きくなります(通常は10分の数ミリメートル)。これに対応して、分子は主に光学的に密度の高いローターブレードと衝突し、効率的な排気動作を実現します。層流(一定)量範囲(10-1mbar(0.75 x 10-1Torr)を超える圧力)では、分子間の頻繁な衝突によりローターの効果が損なわれます。  

このため、ターボ分子ポンプは大気圧でガスを排気することができません。 

TURBOVAC MAGiNTEGRA:磁気浮上式ターボ分子ポンプ

コーティング用途、分析、研究などの困難な産業アプリケーションに最適なコンパクトなポンプです。 

MAGiNTEGRAポンプは、高い抵抗性と性能を備え、柔軟性、コストとメンテナンス効率に優れています。

TURBOVAC i:ハイブリッドターボ分子ポンプ

研究開発、分析、ライフサイエンス、産業用コーティング分野の幅広いアプリケーションに適した高凡庸性のポンプ。

優れた排気性能、内蔵ドライブエレクトロニクスにより、容易に統合できます。プロセスの要件に合わせてバリエーションとアクセサリーを備えた8つのサイズを用意しています。

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