ターボ分子真空ポンプ
クリーンな高真空または超高真空が必要なアプリケーションに適しています
機械式、ハイブリッド、磁気浮上式の高真空ポンプ
ターボ分子真空ポンプは、核融合の研究開発や、コーティング産業や分析機器などの産業分野で、クリーンな高真空または超高真空を必要とするアプリケーションに使用されます。
原理的には、ターボ分子ポンプはハウジング内で急速に回転するタービンで、タービンの各ステージに多数のローターブレードが装着されています。回転するローターブレードの間にはブレードが反対方向に配置された固定ステーターディスクが配置されています。
回転するローターブレードからガス分子への運動量伝達により、ガス分子は最初は無指向性の熱運動ですが、ポンプの吸気フランジからフォアバキュームフランジに向かって軸方向で指向性運動に変化します。
分子流量範囲（10-3mbar（0.75 x 10-3Torr）未満の圧力）では、ガス分子の平均自由行程はローターとステーターブレード間の間隔よりも大きくなります（通常は10分の数ミリメートル）。これに対応して、分子は主に光学的に密度の高いローターブレードと衝突し、効率的な排気動作がもたらされます。層流（一定）流量（10-1mbar（0.75 x 10-1Torr）を超える圧力）では、分子間の頻繁な衝突によりローターの効果が損なわれます。
このため、ターボ分子ポンプは大気圧でガスを排気することができません。
TURBOVAC MAGiNTEGRA：磁気浮上式ターボ分子ポンプ
分析、研究やコーティングアプリケーションなどの困難な産業アプリケーションに最適なコンパクトなポンプです。
MAGiNTEGRAポンプは、高い抵抗性と性能を備え、柔軟性、コストとメンテナンス効率に優れています。
TURBOVAC i：ハイブリッドターボ分子ポンプ
研究開発、分析、ライフサイエンス、産業用コーティング分野の幅広いアプリケーションに適した汎用性の高いポンプ。
優れた排気性能、内蔵ドライブエレクトロニクスにより、容易に統合できます。プロセスの要件に合わせてバリエーションとアクセサリーを備えた8つのサイズを用意しています。
また、次のようなさまざまなバリエーションも提供しています。
- TURBOVAC iXは、真空システムのコントローラーとして機能します。
- TURBOVAC iRは、高電離放射線が周辺にあるアプリケーションの要件を満たします。
- TURBOVAC iマルチインレット：マルチポイント真空性能を必要とするアプリケーション用
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