高真空ポンプシステム

プラグアンドプレイの高真空システム

信頼性の高いコンポーネントとさまざまな構成により、個別の真空要件に対応

実験や製造を安定した制御可能な状態で行うには、高真空および超高真空の環境条件が必要です。

粒子やガスから発生する副次的影響は、結果に影響を及ぼし、大きなマイナス面につながるおそれがあります。

TURBOLAB高真空システムは、使い勝手の良いコンパクトな可動式の設計だけでなく、接続と排気性能の多様性により、市場で最も求められている真空システムの1つです。

内蔵ウェブサーバーを備えた最新型のユーザーインターフェースにより、社内のあらゆる場所から、または自宅から制御することができます。

研究、ラボ、産業用途向けの小型のプラグアンドプレイ式高真空排気プシステム。

TURBOLAB Coreにより、コスト効率が高く、使いやすい排気ステーションが実現します。

このシンプルなポンプステーションは、ターボ分子ポンプ、バックポンプ、シンプルなコントローラーを内蔵しています。これら3つの機能すべては堅牢なベースプレートに取り付けられており、多くのアプリケーションで理想的なソリューションを実現します。

高性能排気ステーションTURBOLABと、LEYSPEC残留ガス分析装置を組み合わせることで、圧力に関係なく効率的かつ柔軟なガス分析が可能になります。

さらに、精密供給UHVバルブを使用して、あらゆるプロセスに接続できます。

TURBOLAB排気ステーション

TURBOLAB Core

LEYSPEC Carts

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