TURBOVAC MAG Integra - 磁気ローターサスペンション付きターボ分子ポンプ
過酷な産業用途環境において、メンテナンスフリーの運用を実現します。
正確さ、精度、信頼性がオールインワン
TURBOVAC MAG Integraは、磁気浮上式ポンプで、分析、環境、研究、および困難な工業用コーティング用途に適した、強力でコンパクトな製品ラインです。
- 排気速度とガススループットが高いため、ポンプのダウンタイムが短縮され、機器のサイクルタイムが改善されます。
- 5軸アクティブ磁気ベアリングと駆動システムにより、高い信頼性と安全で効率的な運転を実現します。
- 完全に統合されたコンバーターと電源：従来のラックマウント型コントローラーと相互接続ケーブルが不要になりました。
安全上の理由から、電源が切断された場合、ドライブシステムは、発電機モードに切り替わり、低速減速によってローターが浮上したままになります。電源が戻ると、ポンプは、自動的に通常速度まで加速し始めます。
TURBOVAC MAG Integraは、保護等級IP 54であり、過酷な産業用途環境での使用に最適なポンプです。
これらの磁気ターボポンプは、10-1 mbar（ 0.75 x 10-1Torr ）～10-10 mbar（0.75 x 10-10 Torr）の圧力範囲で使用されます。空気の排気速度は、300 l/sから2,200 l/sまでさまざまです。
TURBOVAC MAG Integraポンプは、主に以下を必要とするエリアに設置されます：
- 運転時に騒音や振動がないこと
- 炭化水素を含まないこと
- メンテナンスフリーの期間が長いこと
- 柔軟性
- 信頼性
- メンテナンスフリー
柔軟性
これらの高真空ポンプは、あらゆる方向で高性能を発揮し、お客様のシステムに容易に組み込むことができます。
TURBOVAC MAG Integraは、省スペースのオプションであり、クリーンな高真空および超高真空を生成します。
側面または底部にコントローラーを備えた柔軟な設計と、革新的なモジュール式の産業用通信ソリューションにより、システムの統合が簡素化されます。
PVD、ディスプレイ、光学、建築用ガラスコーティングなどの標準的な産業アプリケーションに適しています。
信頼性
TURBOVAC MAG Integraは、すべてのガスに対して高い排気速度と高い圧縮比を実現します。
以下の影響を受けません。
- プロセス粒子やダスト
- ショックベント
これらは炭化水素を含まないポンプであり、クリーンな高真空および超高真空条件が保証されます。
複合型および従来のターボローターステージに加えて、オンボードの周波数変換器および電源が搭載されています。
上記のすべてと、振動値が非常に低いことより、高い信頼性の運転を実現しています。
低コストとメンテナンス時間の短縮
監視機能と自己保護機能により、ほとんどのアプリケーションでメンテナンスフリーです。