油封式真空システム

油封式フォア真空ポンプシステム

2段または3段の油封ポンプシステムには、フォアポンプとしてSOGEVACとTRIVACが装備され、RUVAC WA（U）、WS（U）、WH（U）、RAポンプと組み合わせて使用されます。

シングルフローで、250～16000 m³/hの吸気速度が可能です。ポンプシステムを並列に追加することで、吸気速度を上げることができます。達成可能な運転圧力は、ポンプステージの数と並列するポンプシステムの数によって異なります。

TRIVACシステム

SOGEVACシステム

NEO Dシステム

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