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各プロセスの真空計測

アクティブ構成とパッシブ構成の両方が用意されており、すべての真空計は、当社の専用アクティブゲージコントローラー(GRAPHIXまたはDISPLAY)を介して容易に統合できます。

THERMOVACおよびPENNINGVACゲージは、TURBO.CONTROLiポンプおよびゲージコントローラーとも互換性があります。

また、シンプルな出力0~10 V/シリアル通信で、容易にPLCに直接接続できます 

THERMOVACピラニ真空計

真空計の機能

大部分の環境に対する各種シリーズの堅牢性は、低~中程度の真空レベルで機能します。

PENNNGVAC冷陰極電離真空計

測定範囲:10-2~10-9mbar/torr

多くの場合、ピラニゲージと組み合わせて、高真空ポンプを使用したシステムを計測します。 

IONIVAC熱陰極電離真空計

中~超高圧の真空圧を正確に測定します。

熱陰極電離は、熱フィラメント放出イオンがセンサーヘッドに内蔵されている点で冷陰極とは異なります。このテクノロジーでは、中~超高真空圧(10-12 mbar/torr)を計測できます。保護を強化する必要があるセンサーヘッドであることから、より複雑な設計では所有コストが高くなります。

冷陰極テクノロジーと同様に、10-2mar/torrまでしか計測できないため、通常は一体型のピラニと組み合わせることで、単一ゲージでフルレンジの計測を行います。

また、熱陰極テクノロジーにはさまざまなバージョンがあり、主なタイプはべヤードアルパート(ITRまたはIE 414)とエクストラクター(IE 514)です。エクストラクターテクノロジーは、10-12mar/torrまでの計測能力を備えた最低圧力測定を提供します