製品 サービス ダウンロード 当社について キャリア News & Events
Active capacitance vacuum manometer

CERAVAC CTR

キャパシタンスマノメーター

CERAVACを選ぶ理由

ライボルトのCERAVAC CTRキャパシタンスマノメーターは、最新のインコネルダイヤフラムを採用しており、安定性、耐腐食性、寿命の向上を実現しています。また、このセルは一時的な圧力バーストにも耐えることができます。これは、処理中の事故によってゲージが損傷しないことを意味し、修理や交換が必要になることによるダウンタイムが発生しないようにすることができます。さらに、1000から0.1 torrの範囲で数十年にわたる圧力制御を可能にするフルスケールのオプションもあり、圧力制御のゴールドスタンダードとして最適なソリューションとなっています。 

CERAVAC CTRキャパシタンスマノメーターは、半導電材料が機械的な負荷を受けると抵抗率の変化することを原理としています。キャパシタンスマノメーターは、ダイヤフラムのたわみを機械的ではなく電気的に測定される点が異なります。したがって、静電容量ゲージはより正確で、高圧での正確な測定のための標準と見なされます。この原理の静電容量ゲージを使用すると、ピエゾ圧力測定ゲージよりもはるかに速く反応するため、圧力制御ループでよく使用されます。 

ユーザーのメリット

1000 torr~0.1 torr フルスケール - 1000 torr~1e-5 torrでの圧力計測

長期間の安定性と高い過圧定格による優れた精度

インコネルセンサーおよびステンレス鋼316インレットフランジ

周囲の状況に関係なく、非常に良好な温度補正

シリアルインターフェース(RS 232プロトコル)およびアナログ0~10 V

すべてのゲージに校正最終テストレポート

CERAVAC CTR 100 N/CTR 101 N

CERAVAC CTRトランスミッターは、Inconel®製のダイヤフラムを備えたアクティブセンサーです。 

これにより、優れた精度(最大0.12%のRDG)と高い再現性が保証されます。 

耐圧性の高い材質により、CERAVACは非常に腐食性の高いアプリケーションにも適しています。CTR 100 NとCTR 101 Nはいずれも、1000 torrから0.1 torrまでのフルスケール範囲で提供されます。これにより、環境に関係なく、1000 torrから10-5 torrまで高精度で計測できます。ステンレス鋼製センサーおよびマイクロプロセッサーベースの電子機器は、優れた精度と再現性を提供します。  

CERAVACゲージは、当社のGRAPHIXシリーズコントローラーまたはゲージからの出力を介して、真空制御システムに容易に統合できます。アナログ0~10 Vのリニア出力とRS232出力の両方があり、デジタル通信を行い、PLCからゲージの詳細を制御することができます。 

CTR 100 NおよびTR 101 Nにより、ガスタイプに依存しない圧力測定が可能になり、物理的な損傷やキャリブレーションシフトを受けることなく、圧力のバーストに耐えることができます。この堅牢なセンサーは、一般的なプロセス化学物質からの腐食に対する耐性が高いため、最も腐食性の高いプロセスに適しています。 

CTR 101 Nセンサーは内部で加熱され、45 °Cに調整されます。これにより、システム内のゲージヘッド / コールドスポットでの特定のガスの凝縮を防止するだけでなく、ゲージの精度も向上します。特に低圧を測定する場合には、これが顕著になります。 

当社のCERAVAC CTRゲージはメンテナンス不要なゲージです。堅牢なインコネルセンシングセルと、ゼロドリフトに対する強い耐性により、装着後は何年も正確な測定を行うことができます。また、ゲージが測定範囲全体でどのように動作するかを示す最終テスト証明書が付属しているため、すべてのゲージで安心の性能が得られます。