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迅速かつ正確な圧力制御

PS 115/PS 113

可変および固定低圧スイッチ

可変圧力スイッチPS 115および固定低圧スイッチPS 113 Aは、ベント後に圧力が大気圧レベルに達したかどうかを示します。 

PS 113は、ダイヤフラム圧力スイッチは大気圧より6 mbar(4 Torr)低いトリガーに設定されています。PS 113 AはEPDMダイヤフラムを使用しているため、プロセスガスに大量のヘリウムが含まれているアプリケーションには適していません。 

PS 115は、FPMシーリングとステンレス鋼構造を採用しており、腐食環境に適しています。0.5~2000 mbar(0.4~1500 Torr)の範囲で調整できます。  

差圧アダプター(オプション)を使用して、PS 115を変換して、絶対センサーではなく差圧スイッチとして動作させることができます。 

アダプターは、ねじ込み式のDN 16 ISO-KFフランジとシーリング構造で構成され、調整バルブの代わりにPS 115にねじ込まれています。動作範囲は2000 mbar(1500 Torr)までです。スイッチング精度を損なうことなく、短時間の過負荷を3000 mbar(2250 Torr)にすることができます。この動作範囲では、+5 ~-20 mbar(+3.75~-15 Torr)の差動値を設定ねじで調整できます。 

圧力スイッチのダイヤフラム接点は、片側がアース接続され、定格は最大24 V/10 mAです。

高電圧または高電流の場合は、スイッチングアンプが必要です。SV110は、強力なフローティング切換接点が装備されています。圧力が圧力スイッチに設定された切り替えしきい値を下回るとすぐに、出力リレーに通電されます。 

電気接続はねじターミナルを介して提供され、PGフィッティングを介してプラスチック製のエンクロージャーから実行されます。 

Precision Vacuum Gauging

MR 16/50およびCMOVE圧力レギュレーター

ダイヤフラム圧力レギュレーターMR 16または 50は、外部電源を必要とせずに、ガスの量に応じて真空ポンプの排気速度を自動的に調整する絶対圧力レギュレーターです。

電子式圧力制御システムC MOVEは、電子式コントロールバルブMOVE 1250またはMOVE Xに関連して、個々に設定された圧力でガスフローを制御します。

C MOVは、シンプルで迅速かつ正確な圧力制御を求めるすべてのアプリケーションに適しています。 

インターフェースモジュールMOVE 1250は、RS 232CインターフェースをMOVE 1250コントロールバルブのデジタルインターフェースに接続します。

CMOVEは鮮明なLCDディスプレイとファンクションキーを備えています。PLCシステムに容易に統合できます。バルブ本体は、容易に分解でき、メンテナンスサイクル中にクリーニングすることもできます。 

  • 制御性の高いガススループット  
  • 可変ガス流量(上流側調整)または可変コンダクタンス(下流側調整)による電動圧力制御 
  • アナログ / デジタル入出力およびインターフェース  
  • 高いスイッチング精度(± 0.1 mbar)と容量 
  • 安定した長期運転特性  
  • 耐腐食性に優れた堅牢な設計