TURBOVAC iシリーズ

高ターボ分子真空ポンプ

排気速度が 90～1450 l/s のターボ分子真空ポンプのモジュラー製品ライン

TURBOVAC iシリーズは、ハイブリッドロータベアリングを採用しています。フォア真空側のベアリングは永久潤滑のセラミックボールベアリング、高真空側のベアリングは摩耗のないマグネットベアリングが実装されています。

これらすべてのタイプのベアリングで一般的なのは、ポンプの停止時などにポンプ動作がないため、真空チャンバー内に拡散する可能性がある潤滑オイルを必要としないことです。

ターボ分子ポンプは大気圧に対して直接圧縮することができないため、運転には常に十分な定格のフォアバキュームポンプが必要ですが、当社はこれも提供しています。流量と到達圧力の要件に応じて、システム要件に合わせてさまざまなフォアバキュームポンプをご用意しています。

TURBOVAC i

TURBOVAC iターボ分子真空ポンプには、2つの選択可能なインターフェースがあります。コンパクトな標準インターフェースには、RS485、USB&デジタルI/Oインターフェース、ステータスLED3個、アクセサリー1個を制御できます。Anybusインターフェースは、完全なフィールドバスサポートと、IP54防水&防塵へのアップグレードオプションを備えたステップアップです。

TURBOVAC iX

TURBOVAC iXはポンプの機能を拡張し、真空システムのコントローラとして機能できるようにします。iXシリーズには、完全な通信プロトコルとフィールドバスサポートも付属しています。最大6個のアクセサリーと補助ポンプを制御し、これらのモデルを真の真空ソリューションにします。

TURBOVAC iR

TURBOVAC iRハイブリッドターボ分子真空ポンプは、必要な真空を提供しながら高い電離放射線が周辺にある要求の厳しい用途の要件を満たすように開発されています。これらのポンプは、最大200 mの距離で遠隔操作可能です

優れた性能

TURBOVAC iターボ分子ポンプには、さまざまなプロセスおよびガス流量が増加する要求の厳しい用途で、信頼性が高く安定した性能を発揮するよう設計された独自のポンプステージを備えています。

TURBOVAC iシリーズは、排気速度性能と圧縮比の両方を最適化するように設計されています。90～1450 l/sの幅広い性能範囲で、軽ガス排気速度も含まれます。

ストレスフリーの操作性

TURBOVAC iシリーズは、機械的な衝撃や過酷なベントに対する堅牢なソリューションであり、システム稼働時間を保証します。

このFit & Forgetのポンプシリーズは、使いやすく信頼性が高く、エンドユーザーが予防保全を容易に実施できます。

高い柔軟性

TURBOVAC iシリーズには、UHV（超高真空）、スループット、およびリモート電子機器による放射線堅牢オプションをカバーするモデルがあり、性能損失なしで最大200 mの距離でポンプを動作させることができます。空気冷却と水冷却のオプションもあります。これらの高真空ポンプは、任意の方向に取り付けることができます。

シングルインレットポンプの他に、マルチインレット、カートリッジポンプ、カスタマイズ製品など、お客様重視のエンジニアリングチームを通じて、豊富な製品を提供しています。マルチインレット / スプリットフローまたは特定の派生品をお探しの場合は、当社までお問い合わせください。

パーティクルに対する高い耐性

TURBOVACの設計上の利点の1つは、多くの産業アプリケーションで発生する可能性がある機械的な衝撃や過酷なベントに対する感度が低いことです。

TURBOVAC iターボ分子ポンプは、標準として保護等級IP 40を取得していますが、TURBOVAC 850 i以上のサイズのポンプはIP 54にアップグレードできます。これらのモデルは、特に過酷な環境での使用に適しており、すべてのコンポーネントのシーリングが向上しているため、水やダストの侵入に対する耐性が高くなっています。

低いコストとメンテナンス

TURBOVAC iは、お客様の用途において磁気ベアリングを備えた独自のオイルフリーハイブリッドベアリングコンセプトにより、メンテナンスフリーの操作とプロセスの汚染ゼロを保証します。モータ側では、永久潤滑式セラミックボールベアリングを採用し、メンテナンスキットを使用してエンドユーザー自身が交換できるため、低所有コストでの運用が可能です。

TURBOVAC 850 i～1450 iのメンテナンスは、ベアリングの状態を確認し、サービスが差し迫っていることを警告するスマートシステムにより簡素化されます。