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効率を最大限に高め、ポンプのダウンタイムを短縮

RUVAC WH/WHUシリーズポンプは、高効率モーターを備えた高いスループット、密閉型、水冷式のルーツブロワーポンプであり、オプションの周波数変換器を使用して、最高のコストパフォーマンスと最大9800 m³/h(70 Hz時)の高い排気速度を実現します。モーターとオイルリザーバーは両方とも水冷式であるため、ポンプの内部温度管理のバランスが完全に保たれています。オイル温度を大幅に下げることで、オイルの寿命を延ばすことができます。

ポットモーターは、密封ドライブのキャンドモーターに代わるものであり、効率規格のIE2またはIE3の要件に相当する効率を向上させます。ポットモーターの設計にはベアリングが不要なため、サービス間隔が長く、ポンプの故障が最小限に抑えられます。

オプションの周波数変換器を使用すると、RUVAC WHの排気速度を上げることができ、ポンプダウンタイムを短縮できます。

RUVAC WHUポンプにはバイパスラインが装備されており、大気圧から最大出力で作動することができます。WHUには改良されたバルブテクノロジーが装備されており、短いサイクルでの運転において最大限の効率を実現しています。一体型バイパスラインにより、WHUポンプを大気圧で運転し、独自の制御フラップが非常に優れたの汚染耐性を実現します。

RUVACルーツブロワーは、短いサイクルタイムが重要な建築ガラスコーティングなどのアプリケーションに高容量を提供します。実績のある油封式SOGEVACポンプまたはドライ圧縮式DRYVACおよびSCREWLINEポンプと使用することにより、RUVACポンプはロードロックチャンバーアプリケーションのポンプダウンタイムを最短に抑え、プロセスチャンバーアプリケーションでの真空のトラブルフリー化のために最適化された排気を実現します。 

ユーザーのメリット

ハーメチックシールモーターにより、有毒または腐食性媒体で低い故障率の運転

最小限の設置スペースのコンパクトな設計

大気側にシャフトシールがないため、信頼性が高く、サービス間隔が長く、オイル漏れがありません

容易なシステム統合

オプションの周波数変換器により、最大9800 m³/h(70 Hz時)の高速排気を実現します

革新的なモーターテクノロジーにより、エネルギーコストを削減します

空調設備のある製造現場に設置するための一体型水冷システム

冷却水に接触するステンレス鋼部品(腐食なし)

RUVAC WH/WHUルーツブロワーは、高速食品包装などのサイクルタイムを最短にするために、多くのアプリケーションで使用されています。

RUVAC WH/WHUルーツブロワーは、蒸着プロセス、またはリチウムイオン電池製造プロセスでの電解質の脱ガスなどのアプリケーションの前に、薄膜コーティングで10-3mbar未満の圧力にすばやく到達します。

また、半導体や太陽電池の基本材料であるシリコン単結晶の製造にも使用されています。幅広い製品とアプリケーションのサポートとノウハウをご提供いたします。

RUVAC WH / WHU 2500 Vacuum Booster

WHシリーズのルーツポンプは、運転圧力、サイクルタイム、およびシステム稼働時間に関する高い要件を持つすべてのアプリケーションに展開するために開発されました。

  • ディスプレイ製造
  • ガラスコーティング
  • エネルギー貯蔵アプリケーション
  • 太陽光産業
  • 炉アプリケーション
  • 産業用コーティングプロセス
  • 研究
  • 宇宙シミュレーション
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