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Active Pressure Sensors

DI/DU

ピエゾおよび静電容量センサー

堅牢な工業用圧力計測

DI/DUシリーズは、ピエゾセンサーまたは小型の静電容量セルのいずれかを使用します。これにより、ピエゾ式の真空センサーは2000~1 mbar(1500~0.75 torr)、静電容量式の真空センサーでは200~0.1 mbar(150~0.075 torr)の測定が可能です。

使用するセンサーの種類にかかわらず、プロセスの寿命を最大限に延ばすシーリングテクノロジーを使用するために、FPMまたはEDPMシーリングを選択できます。最終的には、0~10 Vのアナログ出力(DU シリーズ)と4~20 mAの出力(DI シリーズ)のどちらを使用するか決定することとなります。一般的に、4~20 mAの出力は、電気的干渉のリスクがある場合や、長いケーブルで信号が落ちるリスクがある場合に使用されます。 

また、ロードロック式チャンバーのモニタリングに有効な、大気圧に対する圧力を測定できる差動ピエゾセンサー(-1000~+1000 mbar)も提供しています。

ユーザーのメリット

絶対圧力範囲は0.1~200 mbarまたは1~2000 mbarで、相対圧力範囲は-1000 mbar~+1000 mbarです

高い耐腐食性、耐振動性および耐過圧性

プッシュボタンによるデジタルゼロ調整機能を使ったガスに依存しない圧力計測

リニア出力信号4~20 mA(DI)/2~10 V(DU)

コンパクトな設計で、必要なセンサーは1つのみ

IP54定格ハウジング、DN 16 ISO-KF接続、メス型G 1/4インチ内部ネジ付き

ピエゾと静電容量ダイヤフラム計測の比較

ピエゾと静電容量ダイヤフラムの測定の違いは、静電容量ゲージではダイヤフラムのたわみが機械的ではなく電気的に計測されることです。そのため、静電容量ゲージはより迅速に反応し、より正確に計測でき、より低い圧力で正確に計測できます。  

ピエゾ抵抗膜センサーはセラミックセンサーを使用しています。圧力下で、抵抗測定ブリッジに背面の薄膜が適用されます。結果として生じる測定ブリッジのアップセットは、膜に作用する絶対圧の指標となります。この測定方法は静電容量検知よりもコスト効率が高く、食品や包装などのコストに敏感な状況で使用されます。  

DI/DU範囲は通常、過酷なプロセス、汚れた環境で使用されます。このため、すべてのモデルはIP54規格に準拠し、0~60 ℃の温度で動作します。つまり、一般的に重工業や一般産業で一般的に見られる、保護されていない環境での使用に最適です。DI/DUシリーズに共通するもう1つの特徴は、コンパクトなサイズであり、装置内の狭いスペースへの統合に適しています。 

これらのゲージは通常、PLCに直接統合されますが、特に4~20 mAの出力を見るためにローカルディスプレイが必要な場合は、当社のDISPLAYまたはGRAPHIXシリーズコントローラーを介して統合することができます。これにより、システム内の1つのポイントで複数の圧力ポイントをモニタリングできます。 

Precision Vacuum Gauging