Leybold RUVAC WSルーツブロワーは、空冷または水冷式キャンドモーターによって駆動されます。使用可能な周波数変換器がポンプに適合しているため、機械的な過負荷の可能性が排除されています。圧力差が大きすぎる場合、ポンプの回転速度は負荷がかかるまで自動的に低下します。RUVAC WSUシリーズのルーツ真空ポンプには、追加の一体型圧力均一化ラインと差圧バルブが装備されています。これらのシリーズのポンプには、垂直排気動作が標準装備されています。
4つのポンプサイズを持つ2つの空冷式ラインWS/WSU
空冷式キャンドモーター駆動の高気密性空冷式ポンプ
鉱物油による潤滑(LVO 400との併用も可)
モーターのステーターコイル内のオーバーヒートスイッチ
FPM(FKM)/Viton製のすべてのエラストマシール
差圧バルブ付きの一体型圧力均一化ラインにより、WSUモデルでの過負荷を防止します(オプション)
周波数変換器を使用して、RUVAC WS 251~2001ポンプを20~100 Hzで動作させることができます
大気へのシャフトフィードスルーがないため、特に漏れがありません
垂直から水平への排気の変換は、お客様の側から行うことができます
シリーズWAU/WSU/WHUのルーツ真空ポンプには、追加の一体型圧力均一化ラインと差圧バルブが装備されています。
RUVACルーツブロワーは、建築ガラスコーティング業界の標準装備です。定評のある油封式SOGEVACポンプと組み合わせることで、ロードロックチャンバーでのポンプダウンタイムを最短にすることができます。ドライ圧縮式DRYVACおよびSCREWLINEポンプと組み合わせることで、プロセスチャンバーでのドライで信頼性が高くトラブルのない真空を保証します。
RUVACルーツブロワーは、ロードロックチャンバーのサポートや高速食品包装など、高速排気が重要な場所で、可能な限り最短のサイクルタイムを達成するために、多くのアプリケーションで使用されています。
蒸気堆積プロセスの前にランプと絶縁表面を排気すると、RUVACルーツブロワーは10~3 mbar未満の圧力にすばやく到達します。
また、半導体や太陽電池の基礎材料であるシリコン単結晶製造用の単結晶引き上げ装置にも使用されています。幅広い製品とアプリケーションのサポートとノウハウをご提供いたします。