RUVAC WS/WSU
空冷式密閉キャンドモーター付きのルーツブロワー
Leybold RUVAC WSルーツブロワーは、空冷または水冷式キャンドモーターによって駆動されます。使用可能な周波数変換器がポンプに適合しているため、機械的な過負荷の可能性が排除されています。圧力差が大きすぎる場合、ポンプの回転速度は負荷がかかるまで自動的に低下します。RUVAC WSUシリーズのルーツ真空ポンプには、追加の一体型圧力均一化ラインと差圧バルブが装備されています。これらのシリーズのポンプには、垂直排気動作が標準装備されています。
付属品
- 必要な量のオイルはポンプとは別に供給されます（例外がある場合は表示されます）
- 他の種類のオイルが記載されていない場合は、鉱物油LVO 100が標準として使用されます
- 窒素でパージして腐食保護を行います
- 一体型ダストシーブ付きインテークフランジのガスケット
シリーズWAU/WSU/WHUのルーツ真空ポンプには、追加の一体型圧力均一化ラインと差圧バルブが装備されています。
- アプリケーション
- オンラインショップ
- 10-2～10-4 mbar（0.75 x 10-2および0.75 x 10-4 Torr）の圧力での高速排気速度が必要なアプリケーション向け
- 空気の侵入またはポンプ媒体の漏れによる汚染の可能性を回避する必要がある場合に使用します
- 高純度ガスの吸引または排気
- クリーンルームで使用され、モーターのファンによって空気が再循環されてはなりません
RUVACルーツブロワーは、建築ガラスコーティング業界の標準装備です。定評のある油封式SOGEVACポンプと組み合わせることで、ロードロックチャンバーでのポンプダウンタイムを最短にすることができます。ドライ圧縮式DRYVACおよびSCREWLINEポンプと組み合わせることで、プロセスチャンバーでのドライで信頼性が高くトラブルのない真空を保証します。
RUVACルーツブロワーは、ロードロックチャンバーのサポートや高速食品包装など、高速排気が重要な場所で、可能な限り最短のサイクルタイムを達成するために、多くのアプリケーションで使用されています。
蒸気堆積プロセスの前にランプと絶縁表面を排気すると、RUVACルーツブロワーは10～3 mbar未満の圧力にすばやく到達します。
また、半導体や太陽電池の基礎材料であるシリコン単結晶製造用の単結晶引き上げ装置にも使用されています。幅広い製品とアプリケーションのサポートとノウハウをご提供いたします。
