太陽光アプリケーション用の真空
ライボルトの製造実績のある真空ソリューションは、太陽電池やパネルの純度、品質や安全性を高めます。
エネルギーに対するニーズが高まり、地球温暖化を抑制するために化石燃料の消費を制限する必要性を考えると、太陽光エネルギーはますます重要になってきています。世界的には、風力エネルギーや太陽光エネルギーなどの再生可能エネルギーがますます注目されています。需要の増加に伴い、太陽電池技術の研究が進み、大幅なコスト削減と、長寿命化に加え、太陽電池やパネルの効率化技術の向上が実現しています。
太陽光パネルは、グリーンエネルギー発電への道の重要な一歩です。たとえば、燃料電池駆動の将来の車両用のグリーン水素を生成する電解装置の電源にもなる可能性もあります。
ライボルトは、ヘテロ接合部の新たな技術に見られるように、ウェハベース、薄膜、またはその両方の組み合わせなど、太陽光発電プロセスにおける各真空ステップに最適な製品を提供します。
当社の真空に関する専門知識 - お客様のメリット
当社は、太陽光発電プロセス全体に最適な真空ソリューションを提供しています。特定のプロセス要件および個々のプロセス要件に応じて、さまざまなポンプタイプおよび特定の適合ポンプソリューションを利用できます。また、お客様の仕様に応じてカスタマイズすることもできます。
ドライ圧縮真空ポンプ
太陽光発電では、純度の高いオイルフリーのソリューションが不可欠です。ドライ圧縮ポンプは、オイルの排出がなく、プロセスチャンバーへのオイル移動の潜在的なリスクを回避し、製造システムの最高のプロセス品質を確保します。稼働時間を最適化し、コストとメンテナンスを最小限に抑え、サービス期間を最適化します。ライボルトのドライポンプシリーズを使用することで、高品質の太陽電池の製造が保証されます。
- PowerBoost
- SCREWLINE
- DRYVAC
- RUVAC
- CLAWVAC
- VARODRY
- SOGEVAC
- TRIVAC
- ヘリウムリークディテクター
PowerBoost
PowerBoostとPowerBoost Plusは、高速サイクルアプリケーション向けに開発および最適化されており、最大0.01 mbarの圧力が特徴です。これらのシステムは、非常に高速な排気速度と、その後にアイドル時間を必要とするすべてのインターバルベースのアプリケーションに適しています。また、サイクルタイムの自動検出により、非常に柔軟になり、循環する製品やさまざまな条件に適応できます。
- ドライおよびオイルフリーのスクリュー / ルーツテクノロジーの組み合わせ -> ダスト処理が可能、最適化された高速ポンプダウン
- 小さな設置面積 -> これまでのポンプ構成と比較して「1セット分小さい」
- 非常に低いノイズ -> コーターが次に何をするかを理解するインテリジェントなポンプシステムに起因
- 省エネ -> 革新的な省電力ユニットにより、消費電力を削減。
SCREWLINE
ローター内部冷却機能を備えたSCREWLINE SP 630のドライスクリューポンプは、EVA(エチレンビニルアセテート)、POE(ポリオクテンエチレン)、PVB(ポリビニルブチラール)ポリマー材料からモノマー、オリゴマー、軟化剤の脱ガスを排出できるので、要求の厳しいソーラーラミネートアプリケーションに適しています。
- SP 630ドライスクリュー技術 -> 2004年以降のソーラーラミネート用の製造実績のある技術
- さまざまなラミネート加工プロセスに対応するクラス最高レベルのポンプ
- 空冷式 -> 素早く&容易な設置
- 排気チャンバーは現場で洗浄可能 -> 真空ポンプによるダウンタイムなし
DRYVAC
当社のDRYVACは、重工業環境に設置できる、コンパクトで水冷式の静かなドライスクリューポンプです。ポンプは、CIGS、CdTe、ヘテロ接合などのPECVDおよびPVD薄膜コーティングプロセスで使用されるガスを処理するように設計されています。
- ドライおよびオイルフリーのスクリュー技術 -> ダスト、ドーピングガス、フッ素エッチングの対応が可能
- 非常にコンパクト -> 製造ラインに容易に設置
- 非常に低いノイズ -> 作業環境の改善
- 低い熱放射 -> 局所的に機械性能の向上が可能
- 省エネ -> 革新的な省電力ユニットにより、消費電力を削減。
RUVAC
大量のガスを排気したり、低真空圧を達成して維持するには、強力なブースターポンプが必要です。当社の従来のRUVAC WA(U)およびWS(U)ブースターポンプは、革新的かつハーメチックシールのRUVAC WH(U)とともに、直接駆動または周波数コンバーターで駆動することができるため、より高い排気速度に達するために、常時高い回転数での稼働が可能です。250~7000 m³/hの容量の、あらゆるサイズの太陽電池真空システムを提供しています。
- ドライおよびオイルフリーのルーツ技術 -> ダスト、ドーピングガス、およびフッ素エッチング対応が可能
- 非常にコンパクト -> 粗引きポンプの上に容易に設置
- 製造実績:あらゆる太陽光アプリケーションに対応する標準的な主力製品
- 低い熱放射 -> 水冷および空冷仕様が利用可能
太陽光ラミネータの第3ステージでは、現場での洗浄が可能なため、ステンレススチール製クロー付きのCLAWVACポンプが理想的です。定評のあるSCREWLINE SP 630 Fに代わる優れた技術的な選択肢です
- ステンレススチール製のクロー -> 高湿度でモノマー、オリゴマー、軟化剤があっても腐食しない(ここでは意味がわからないかもしれませんが)
- 最小限のメンテナンス要件 -> 低い総所有コスト
VARODRY
当社のVARODRYは、100%オイルフリーの稼働により、真空の清浄性を向上させるだけでなく、要求の厳しいソーラーコーティングとソーラー結晶引き上げ&成長プロセスで高い堅牢性を発揮し、油封式ポンプよりも長い稼働時間を実現します。
- ドライスクリュー技術 -> インラインソーラーコーティング(クライオポンプ再生、バッファ、プロセス、アニール)および結晶引き上げ&成長(炭化ケイ素)の実証済みの製造
- 空冷式 -> 素早く&容易な設置
- 最小限のメンテナンス要件 -> 低い総所有コスト
SOGEVAC
業界をリードする実績のあるSOGEVAC油封式ロータリーベーンポンプは、大型の建築用ガラスコーティングインラインPVDシステムの油封式の標準です。これは、ロードロックの高速ダウンを実現する効率的なポンプであり、ドライスクリューポンプと比較して低価格です。
- クラス最高レベルのロータリーベーンポンプ -> ロードロック時のPVDインラインコーター用の実績ある技術
- あらゆる圧力で高い排気速度 -> ポンプ性能に影響を与えずに、高速で効率的なポンプダウン
- 低い運転温度とロードロックアプリケーション用に最適化されたオイル -> より長いオイル交換間隔
- 最先端の排気フィルタリング技術 -> 排気エリアのガスをクリーン化
TRIVAC
当社のTRIVAC - PFPEバージョンは、ソーラー結晶引き上げ&成長、特に炭化ケイ素アプリケーションのための標準的な油封式ソリューションです。
- クラス最高レベルのロータリーベーンポンプ -> 生産実績のある結晶引き上げ&成長技術
- 世界中で使用 -> 炭化ケイ素の未来技術に加えて
- 空冷式 -> 素早く&容易な設置
ヘリウムリークディテクター
ライボルトは、幅広いPHOENIXヘリウムリークディテクターおよびカスタマイズされた特殊システムを提供します
- PHOENIX QUADRO -> 油封式またはドライ稼働のライボルトの真空ポンプを備えた、ポータブルヘリウムリークディテクター
- PHOENIX VARIO -> 真空システムを搭載していない、PHOENIXシリーズの最小製品。
- カスタマイズされた真空システム:ライボルトにご連絡ください。お手伝いいたします。