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Active Measurment Gauge

THERMOVAC

ピラニ / ピラニおよびピエゾトランスミッター

THERMOVACを選ぶ理由

THERMOVAC TTRピラニ真空計の製品ラインには、3種類の主要な製品があります。これらはすべて、低~中程度の真空レベルでの測定に適しており、PTRやITR製品ライン(LINK)などの高真空 / 超高真空計と組み合わせることができます。これらは、広い測定範囲、コンパクトなサイズ、およびコスト効率により、基本的にすべての真空システムに搭載されます。 

ライボルトのTHERMOVACピラニ真空計は真空市場で長い歴史を持ち、当社の真空ポンプとともに数十年にわたって使用されています。 

真空性能と接続性の両面から、プロセスのニーズを満たすモデルを柔軟に選択できることは、多くのお客様にとって重要です。関連するすべての国際規制に完全に準拠しており、さらなる安心を提供します。

ライボルトは、当社の熟練したアプリケーションおよび技術チームに支えられており、多くの真空市場での経験を活かし、お客様のアプリケーションで十分に実証された計測ソリューションの選択を支援します。

ライボルトのTHERMOVACゲージをECODRYシリーズなどの当社のポンプと組み合わせることで、プロセス効率を向上させながらコストを削減し、最適な排気性能を実現できます。 

また、THERMOVACゲージを使用して、プロセスをモニタリングしてトリガーすることで、または、適切な真空レベルに達していない場合はプロセスを停止することで、プロセスの制御と最適化、サイクル時間の短縮、エラーの特定、予期せぬダウンタイムの防止を確実に行うことができます。 

THERMOVAC TR9*シリーズ

標準ピラニ真空計

大気圧から1e-4 mbarまでの測定が可能で、ほとんどのプロセスに不可欠なポンプダウン範囲をカバーします。センサーの設計はすべてのアプリケーションで信頼性が高く、確固たる実績があります。360 °のライトリングにより、どこからでもゲージの状態を確認できます。HMIポートが近くにないような大規模な設置環境で作業する場合に便利な機能です。 

基本的な機能を絞ったバージョンと、より機能を充実させたバージョンを用意しています。セットポイントリレーと特定の耐食性に特化したモデルも提供します。また、標準的な0~10 Vのリニアアナログ出力と、PLCとの統合に適した最新のデジタル出力など、複数タイプの出力を提案します。

THERMOVAC TTR 101シリーズ

圧力が100 mbar以上の場合

標準的なピラニゲージの弱点は、100 mbar(75 torr)以上の圧力で正確に計測する能力が低いことです。これは、プレミアムのTHERMOVAC製品で解決されます。TTR 101シリーズは、ピラニフィラメントと小型の静電容量式圧力計を組み合わせた製品で、静電容量検出エレメントが初期の低真空範囲をカバーします。このアップグレードされた真空計の圧力測定範囲は、1500 mbar(1125 torr)~5 x 10-5 mbar(3.75 x 10-5 torr)です。 

Broad Range Vacuum Gauging
Broad Range Vacuum Gauging

これらのゲージは、0~10 Vのリニアアナログ出力またはデジタル(RS232/485)出力、およびEtherCAT出力を備えており、システムに最適な通信方法を柔軟に選択できます。また、ディスプレイを内蔵したモデルもあり、セントラルコントローラーから離れた場所でも圧力を直接読み取ることができます。

THERMOVAC TR 2*シリーズ

パッシブゲージ製品

もう1つの標準的なピラニゲージの違いは、このゲージがパッシブゲージ製品である点です。

ゲージのエレクトロニクスは取り外され、別のゲージコントローラーで保管されています。TTR9*の利点はすべて、広い測定範囲(大気圧~5e-4)で実現されます。

エレクトロニクスがないため、ゲージ自体には機能がありません。これらは別売りのコントローラーに搭載されています。詳細については、COMBIVAC(LINK)を参照してください。

  • 取り付け位置の影響を受けない測定信号 
  • 高過圧制限(10 bar)
  • TTRシリーズには、LEDリングと最大2つのセットポイントリレーが搭載されており、プロセス制御を改善することができます 
  • 最適なコストパフォーマンス
  • 高い信頼性と再現性を備えた低真空および高真空計測 
  • 最大100 mのケーブル長で使用でき、大規模な設置に最適です。  
Broad Range Vacuum Gauging