今日見られるガラスの表面は、紀元前2500年頃に発明された最初のガラスから大きく進化しています。現在はどのガラスにも薄いフィルムがコーティングされており、透過する光量や太陽熱に影響を与えています。このような薄膜コーティングガラスは、使用される建物や車両内の快適性を向上させ、換気や空調システムの効率までも向上させています。
ガラスコーティングは、ガラス表面の色や反射、さらには外観にも影響を与えます。現代都市の高層ビル群の外観には、真空コーティングされたガラスを使用して断熱性と美的な外観のための適切な色を確保しています。
PVD(物理蒸着)による真空スパッタリングは、コーティングされたガラスの製造で最も一般的なプロセスです。このプロセスでは、材料を真空チャンバーに入れ、「スパッタリング」と呼ばれるプロセスを行う必要があります。ここでは、アルゴン、窒素、酸素などのプロセスガスを使用して、金属、金属酸化物、窒化物層をガラスに堆積させます。この真空スパッタリングプロセスにより、組成や厚さが異なる複数の層からなるコーティングがガラスに蒸着されます。通常24時間365日稼働するPVD装置は、このプロセスを担う真空システムの一部です。そのため、PVD装置メーカーは、連続生産に対応する耐久性と堅牢性に優れた真空ポンプを求めています。
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