UNIVEX C
クラスターおよびカスタム蒸着システム
特殊なアプリケーション向けに、UNIVEXモジュラーコンセプトに基づいたクラスターシステムやカスタムシステムを提供することもできます。
- UNIVEX C - CLUSTER
- UNIVEX C - CUSTOM
UNIVEX C - CLUSTER
当社のUNIVEXクラスターは、お客様の要件に応じて装備され、個別のプロセスチャンバー、ロードロックチャンバー、転送チャンバーを備えています。一般的に、各真空チャンバーには独自の高真空システムがあります。ロードロックチャンバーは、個々の基板を手動で装填する最もシンプルな方法です。また、1回のバッチで複数の基板をマガジン処理することも可能です。
一般的に、個々の真空チャンバー間の基板の輸送には、モーター駆動ロボットアームまたはリニア転送駆動装置が使われます。UNIVEX制御ソフトウェアは、特定のアプリケーション要件に応じてカスタマイズされており、通常、レシピ処理を含むプロセスの完全自動実行が可能です。
UNIVEX C - CUSTOM
UNIVEXタイプのシステムがお客様の要件に適合しない場合や、チャンバーのサイズ変更、高さ変更が必要な場合も、お気軽に当社にお問い合わせください。
お客様のシステム実現をサポートいたします。
UNIVEX C 900が複雑なコーティングソリューションをサポートする仕組みをご確認ください
