TWISTER基板ステージ
研究開発が容易
完全社内製造のTWISTER™基板ステージは、堅牢で信頼性の高い革新的な技術を、お客様のUNIVEXシステムまたはすでにご使用中のその他のコーティングチャンバーに組み込む次のステップです。
独自の用途に特化したソリューション
再現性の高いコーティングプロセスを実現するため、回転可能で放熱機能のある基板ステージを開発し、均一性とコーティングの品質を確保しています。
お客様のさまざまなニーズに応えるため、ライボルトでは、3つの主バージョンで構成されるモジュラーシステムをご用意しています。
- ベーシック
- 先進的
- フル装備
これをもとに576種もの派生型を生み出すことができます！
モジュラーシステム
モジュラー式の原理に基づくTWISTER™基板ステージは、典型的なアップグレード可能デバイスであり、ロードロックが追加された場合以外、エアクランプの追加は不要です。冷却が必要な場合は、加熱プレートを一体型の加熱+冷却プレートと交換してください。
高精度の結果を得るための精密な取り扱い
- 基板の回転の高精度化による均一かつ均質な薄膜
- 基板とコーティングソースとの距離を調整し、ロードロックの受け渡しを行うZシフト（オプション）
- 直径6インチまでの基板プレートを取り扱う柔軟性
- 400℃までの加熱温度による層品質の向上
- オプションの水冷却：
- フォイルやOLED材料などの高感度基板の保護
- 冷却と後処理の迅速化
- クリーニング用に交換可能なコーティングシールド
- ポジションコントロール内蔵
- 既存のラボ用コーティング装置のほとんどのアップグレードが可能
- ドキュメント
