UNIVEX Gグローブボックス

不活性環境下で、湿気や酸素に敏感な基板のローディングおよびコーティングを実行

当社の標準的なグローブボックスシステムでは、湿気や酸素に敏感な基板のローディングとコーティングを、グローブボックスの不活性環境下で実行できます。

UNIVEX Gシステムには、グローブボックスに接続するためのフロントスライディングドアがあります。オペレーターは、このスライド式のドアでグローブボックスからプロセスチャンバーに容易にアクセスできます。直接アクセスが必要な場合は、UNIVEX Gの後ろ側にドアがもう1つあります。

一般的なアプリケーション

フロントサイドスライドドアからプロセス機器に、容易に直接アクセス可能

背面ヒンジ付きドアからの便利なサービスアクセス

プロセスコンポーネントの統合

UNIVEX G 250は、あまり広い面積を必要としないコーティング作業に適した便利でコスト効率の良いソリューションです。

最大径約220 mmの基板 / 各基板ホルダーの作業が可能です。

	G 250
Chamber size	Width 270 mm Depth 370 mm Height 400 mm
Thermal evaporator	up to 4 materials
Organic evaporator	up to 4 materials
E-beam evaporation	multi-pocket or single pocket
Sputtering	up or down, 2 x 2"
Co-Deposition	evaporation and/or sputtering
Load lock compatible	optional
Vacuum level	mid 10^-7 mbar
Cleanroom compatible	yes

UNIVEX G 350は、コンパクトな設計ながらも広いチャンバースペースを備えています。

UNIVEX G 350は、多くのコーティング作業において、最適なスペース条件を提供し、プロセス部品や基板加工へのアクセスが容易です。

最大径約300 mmの基板 / 各基板ホルダーの作業が可能です。

	G 350
chamber size	Width: 370 mm Depth: 390 mm Height: 500 mm
thermal evaporator	up to 8 materials
organic evaporator	Up to 4 materials
e-beam evaporation	Multi-pocket and/or single pocket
sputtering	Up or down: 3 X 2” guns, or 2 X 3” guns
Co-Deposition	Evaporation and/or sputtering
load lock compatible	optional
Ion assisted deposition	optional
vacuum level	mid 10^-7 mbar
cleanroom compatible	yes

UNIVEX G 450は、そのチャンバー寸法により、広いスペースを必要とするあらゆるコーティング作業に適しています。最大直径400 mm以上の基板 / 基板ホルダーを処理できます。高さ650 mmの真空チャンバーは、リフトオフアプリケーションにも適しています。

	G 450
chamber size	Width: 500 mm Depth: 500 mm Height: 650 mm
thermal evaporator	Up to 8 materials
organic evaporator	Up to 8 materials
e-beam evaporation	Multi-pocket and/or single pocket
sputtering	Up or down: 3 X 3”, 2 X 4”, 4 X 2” or other
Co-Deposition	Evaporation and/or sputtering
load lock compatible	optional
Ion assisted deposition	optional
vacuum level	mid 10^-7 mbar
cleanroom compatible	yes