UNIVEX Gグローブボックス
不活性環境下で、湿気や酸素に敏感な基板のローディングおよびコーティングを実行
当社の標準的なグローブボックスシステムでは、湿気や酸素に敏感な基板のローディングとコーティングを、グローブボックスの不活性環境下で実行できます。
UNIVEX Gシステムには、グローブボックスに接続するためのフロントスライディングドアがあります。オペレーターは、このスライド式のドアでグローブボックスからプロセスチャンバーに容易にアクセスできます。直接アクセスが必要な場合は、UNIVEX Gの後ろ側にドアがもう1つあります。
一般的なアプリケーション
- 接触メタライゼーション（金、銀、クロム、ニッケル、チタンなどの蒸発）
- バイオセンサー / 医療機器
- 有機エレクトロニクス：OLED、有機太陽電池
- 量子ドット / ディスプレイ
- 無機・有機ペロブスカイト形成用電子ビームおよび有機物エバポレーター
- UNIVEX G 250
- UNIVEX G 350
- UNIVEX G 450
UNIVEX G 250
UNIVEX G 250は、あまり広い面積を必要としないコーティング作業に適した便利でコスト効率の良いソリューションです。
最大径約220 mmの基板 / 各基板ホルダーの作業が可能です。
G 250 |
|
|---|---|
チャンバーサイズ |
幅270 mm、奥行き370 mm、高さ400 mm |
熱エバポレーター |
最大4つのマテリアル |
有機物エバポレーター |
最大4つのマテリアル |
電子ビーム蒸発 |
マルチポケットまたはシングルポケット |
スパッタリング |
上または下、2 x 2" |
同時析出 |
蒸発および/またはスパッタリング |
ロードロック互換性 |
オプション |
真空レベル |
中間10-7 mbar |
クリーンルーム対応 |
有 |
UNIVEX G 350
UNIVEX G 350は、コンパクトな設計ながらも広いチャンバースペースを備えています。
UNIVEX G 350は、多くのコーティング作業において、最適なスペース条件を提供し、プロセス部品や基板加工へのアクセスが容易です。
最大径約300 mmの基板 / 各基板ホルダーの作業が可能です。
G 350 |
|
|---|---|
チャンバーサイズ |
幅：370 mm 奥行き：390 mm 高さ：500 mm |
熱エバポレーター |
最大8つのマテリアル |
有機物エバポレーター |
最大4つのマテリアル |
電子ビーム蒸発 |
マルチポケットおよび/またはシングルポケット |
スパッタリング |
上下：3 X 2インチガンまたは2 X 3インチガン |
同時析出 |
蒸発および/またはスパッタリング |
ロードロック互換性 |
オプション |
イオンアシスト蒸着 |
オプション |
真空レベル |
中間10-7 mbar |
クリーンルーム対応 |
有 |
UNIVEX G 450
UNIVEX G 450は、そのチャンバー寸法により、広いスペースを必要とするあらゆるコーティング作業に適しています。最大直径400 mm以上の基板 / 基板ホルダーを処理できます。高さ650 mmの真空チャンバーは、リフトオフアプリケーションにも適しています。
G 450 |
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|---|---|
チャンバーサイズ |
幅：500 mm 奥行き：500 mm 高さ：650 mm |
熱エバポレーター |
最大8つのマテリアル |
有機物エバポレーター |
最大8つのマテリアル |
電子ビーム蒸発 |
マルチポケットおよび/またはシングルポケット |
スパッタリング |
上または下：3 X 3インチ、2 X 4インチ、4 X 2インチ、またはその他 |
同時析出 |
蒸発および/またはスパッタリング |
ロードロック互換性 |
オプション |
イオンアシスト蒸着 |
オプション |
真空レベル |
中間10-7 mbar |
クリーンルーム対応 |
有 |