当社の標準的なグローブボックスシステムでは、湿気や酸素に敏感な基板のローディングとコーティングを、グローブボックスの不活性環境下で実行できます。
UNIVEX Gシステムには、グローブボックスに接続するためのフロントスライディングドアがあります。オペレーターは、このスライド式のドアでグローブボックスからプロセスチャンバーに容易にアクセスできます。直接アクセスが必要な場合は、UNIVEX Gの後ろ側にドアがもう1つあります。
一般的なアプリケーション
フロントサイドスライドドアからプロセス機器に、容易に直接アクセス可能
背面ヒンジ付きドアからの便利なサービスアクセス
プロセスコンポーネントの統合
UNIVEX G 250は、あまり広い面積を必要としないコーティング作業に適した便利でコスト効率の良いソリューションです。
最大径約220 mmの基板 / 各基板ホルダーの作業が可能です。
G 250 |
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Chamber size |
Width 270 mm Depth 370 mm Height 400 mm |
Thermal evaporator |
up to 4 materials |
Organic evaporator |
up to 4 materials |
E-beam evaporation |
multi-pocket or single pocket |
Sputtering |
up or down, 2 x 2" |
Co-Deposition |
evaporation and/or sputtering |
Load lock compatible |
optional |
Vacuum level |
mid 10-7 mbar |
Cleanroom compatible |
yes |
UNIVEX G 350は、コンパクトな設計ながらも広いチャンバースペースを備えています。
UNIVEX G 350は、多くのコーティング作業において、最適なスペース条件を提供し、プロセス部品や基板加工へのアクセスが容易です。
最大径約300 mmの基板 / 各基板ホルダーの作業が可能です。
G 350 |
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---|---|
chamber size |
Width: 370 mm Depth: 390 mm Height: 500 mm |
thermal evaporator |
up to 8 materials |
organic evaporator |
Up to 4 materials |
e-beam evaporation |
Multi-pocket and/or single pocket |
sputtering |
Up or down: 3 X 2” guns, or 2 X 3” guns |
Co-Deposition |
Evaporation and/or sputtering |
load lock compatible |
optional |
Ion assisted deposition |
optional |
vacuum level |
mid 10-7 mbar |
cleanroom compatible |
yes |
UNIVEX G 450は、そのチャンバー寸法により、広いスペースを必要とするあらゆるコーティング作業に適しています。最大直径400 mm以上の基板 / 基板ホルダーを処理できます。高さ650 mmの真空チャンバーは、リフトオフアプリケーションにも適しています。
G 450 |
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chamber size |
Width: 500 mm Depth: 500 mm Height: 650 mm |
thermal evaporator |
Up to 8 materials |
organic evaporator |
Up to 8 materials |
e-beam evaporation |
Multi-pocket and/or single pocket |
sputtering |
Up or down: 3 X 3”, 2 X 4”, 4 X 2” or other |
Co-Deposition |
Evaporation and/or sputtering |
load lock compatible |
optional |
Ion assisted deposition |
optional |
vacuum level |
mid 10-7 mbar |
cleanroom compatible |
yes |