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真空計のメンテナンスおよび操作に関するガイドライン

真空センサー/真空計の取り付けに関する情報

ここでは、真空システム周辺の外部条件と内部の動作条件（運転圧力、ガス含有量など）が重要です。センサーは、凝縮液、金属片、および切り粉がセンサーに溜まるのを防ぎ、また、小さなねじなどの部品がセンサーや測定システムに落下するのを防ぐために、真空フランジが下部になるように垂直に取り付ける必要があります。また、高温の白熱フィラメントが曲がったり変形したりして、測定システム内部に電気的ショートが発生する可能性もあります。このため、次のような一般的なルールを設けています。可能であれば、センサーを垂直に取り付け、底面が開いているようにします。また、可能であれば、真空システムの中で、運転中に振動が発生しない箇所に測定システムを設置することが非常に重要です。

外気温を考慮する必要があります。測定システムの特定の許容範囲を超える周囲温度を発生する高温キルン、炉、オーブン、またはその他の強い放射源を避ける必要があります。周囲温度が高すぎると、熱伝導性真空センサーに誤った圧力が表示されます。

測定システムの汚染物質と除去

真空技術の圧力測定に使用されるゲージは、「汚れた」状態でも確実に機能します。真空システムでは圧力が低くなるだけでなく、化学、冶金、核物理のプロセスを低圧で実行する必要があるため、これは非常に理解しやすいことです。ここでは、プロセスの性質に応じて、大量のガスまたは蒸気が連続的または断続的にポンプで送られます。これらは測定システムに送られ、表面の反応や堆積により、圧力測定値が大幅に変化する可能性があります。これは、高感度、高精度の測定システムが汚染に対して特に敏感で、あらゆるタイプの真空計に当てはまります。適切な遮蔽を提供することで、測定システムを汚染から保護することができます。ただし、これは、測定システムによって記録された圧力（実際にはクリーンな圧力）が、システムに実際に存在する圧力から大きく逸脱することがよくあります。

真空計内の測定システムを汚染から守ることは基本的に不可能です。そのため、以下のことを確認する必要があります。

圧力測定への汚染の影響は、可能な限り小さく保たれます。
測定システムは簡単に洗浄できます。

これらの2つの条件は、実際にはほとんどの真空計で満足することが容易ではありません。汚れたTHERMOVACセンサーは、高温のワイヤの表面が変化したため、低い測定範囲では高すぎる圧力を示します。ペンニング真空計では、汚染されると放電電流が小さくなるため、圧力測定値が低くなりすぎます。熱陰極を備えた電離真空計の場合、電極およびチューブの壁が汚染される可能性があり、特定の状況下で絶縁耐力が低下します。ただし、電離真空計は、他の理由でクリーンな動作条件を確保する必要がある超高真空領域で使用されることが多いという事実は別として、この測定システムは通常、電流を通過するか電子衝撃を当てることでベークアウトや脱ガスが可能です。

磁場および電場の影響

ガス分子のイオン化を測定原理として使用するすべての測定機器（冷陰極および熱陰極電離真空計）では、強力な漏れ磁場または電位が圧力表示に大きく影響する場合があります。また、低圧では、陰極電位から外れる壁電位がイオントラップ電流に影響を与える可能性もあります。

高真空および超高真空で使用される真空測定システムでは、高電圧電極およびイオントラップに必要な高絶縁値が、操作中およびベークアウト手順中にも維持されるようにする必要があります。絶縁不良は、外部フィードラインと測定システム内部の両方で発生する可能性があります。トラップ（ディテクター）リードの絶縁が不十分な場合、クリープ電流が低圧力で過度に高い圧力値の読み取り値を刺激する可能性があります。イオントラップ電流が非常に低いため、このリード線を特に十分に絶縁する必要があります。また、トラップが他の電極に対して効果的に遮蔽されていない場合は、測定センサー内にクリープ電流が発生する可能性があります。

測定センサーを真空システムに接続する際によく発生するエラーは、許容できない長さと狭さのコネクター配管を使用することです。コンダクタンス値は、できるだけ大きく保つ必要があります。最も好ましいのは、統合された測定システムを使用することです。低コンダクタンス値のコネクターパイプを使用すると、圧力表示が高すぎるか低すぎる可能性があります。ここでは、10年以上の測定エラーが発生する可能性があります。システムをベークアウトできる場合は、コネクターパイプも加熱できるようにする必要があります。

パッシブセンサーおよび測定システム

測定ケーブル（センサーと真空計コントロールユニット間のコネクターケーブル）は通常2 mの長さです。コントロールパネルに設置する場合など、長い測定ケーブルを使用する必要がある場合は、圧力読み取り値に影響があるかどうかを確認する必要があります。長すぎるケーブルを使用するためのオプションに関する情報は、当社の技術コンサルティング部門から入手できます。

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