アクティブゲージ、パッシブゲージおよびコンビネーションゲージの定義

真空計は、アクティブゲージ（シングルヘッド、コンビネーションヘッドを含む）とパッシブゲージタイプに分類されます。すべての真空プロセスに適したゲージタイプがあります。ライボルトは各プロセスに対応した幅広いポンプを揃えているのと同様に、さまざまなゲージを提供しています。基本的なゲージタイプの基本的な特性については、以下で説明します。特定の要件がある場合やゲージの選択プロセスでサポートが必要な場合は、いつでも当社にお問い合わせください。喜んでお手伝いさせていただきます。

アクティブゲージの特徴

アクティブ真空計には、制御ユニットの電子機器と実際のセンサーの両方が含まれます。これは、アクティブゲージが1つのコンパクトなユニットに完全な自己完結型ヘッドおよびドライバー電子ユニットであることを意味します。センサー部分は、測定信号から電気的な値を生成します。
これらのゲージは通常24 V DCを必要とし、圧力に関連する0～10 Vの出力を提供します。電子機器によるベークアウト温度は212 ℉未満（100 ℃未満）に制限されているため、ベークアウトは電子機器が接続されている場合には限られた範囲でのみ可能です。電子機器を取り外した状態では、通常150 ℃までベーキングできます。

アナログまたはデジタルのいずれかのリニア出力信号は、ケーブルに伝送エラーがないことを意味します。ゲージケーブルは標準化されており、測定された圧力値にラインの影響はありません。
コントローラーは単なる表示デバイスのため、電源はプラントから供給されます。信号は中央ディスプレイに表示されます。圧力は、アナログ測定またはデジタルインターフェースを介して示されます。デジタルゲージはコントローラーから（アクティブに）独立しており、測定値をシリアルに通信します。
また、アクティブゲージは放射線や磁場に敏感であることにも注意してください。

一体型センサーゲージまたはコンビネーションゲージ

コンビネーションゲージはその名の通り、さまざまな計測原理を1つのゲージに組み合わせています。つまり、個々の弱点が排除され、運用上の安全性が向上し、コスト効率も向上します。2つのセンサーには1つの測定だけで、1つのハウジング、1つの接続部、および1つのディスプレイがあります。また、コンビネーションゲージにより、より広い範囲での圧力モニタリングが向上します。コンビネーションゲージの例としては、ピラニ / 冷陰極ゲージがあります。詳細については、間接圧力計測のページを参照してください。

パッシブゲージの特徴

アクティブゲージとは異なり、パッシブゲージにはセンサーのみが含まれ、電子部品は除外されます。パッシブ計測デバイスは、計測部品が駆動電子部品と完全に分離しています。システムに取り付けられたヘッドには、物理的な計測に必要な部品のみが含まれており、その他のすべての電子部品は制御ユニットに含まれています。通常、制御ユニットには、アナログ電圧出力、スイッチポイントリレー接点、およびデジタルインターフェースも装備されています。

パッシブゲージはセンサー信号を直接計測し、ケーブルは測定信号に影響を与えます。インジケーターのタイプに応じて、特定のケーブルが必要です。
コントローラーも測定デバイスであるため、電源はコントローラーからのみ供給されます。同様の方法で、ディスプレイはコントローラー上でに一意に配置されます。
パッシブゲージは放射線に耐性があり、アクティブゲージとは対照的に、高い温度でのベークアウトが可能です。