(1.5)
a)真空ポンプ - 1段または数段の圧縮工程を経て、ガス粒子が容積から排気され、大気中に放出されます(圧縮ポンプ)。ガス粒子は、変位またはパルス伝達によって排気されます。
b)除去されるガス粒子が凝縮するか、または他の方法(化学的など)によって固体表面に結合される真空ポンプ。これは、多くの場合、境界形成容積自体の一部です。
最先端技術と実際のアプリケーションに沿った分類では、次の種類のポンプに違いが生じます。最初の3つのクラスは圧縮ポンプに属し、残りの2つのクラスは凝縮ポンプおよびゲッターポンプに属します。