真空ポンプの種類とは
真空の基本的な定義
（1.5）
ポンプカテゴリーの分類
a）真空ポンプ - 1段または数段の圧縮工程を経て、ガス粒子が容積から排気され、大気中に放出されます（圧縮ポンプ）。ガス粒子は、変位またはパルス伝達によって排気されます。
b）除去されるガス粒子が凝縮するか、または他の方法（化学的など）によって固体表面に結合される真空ポンプ。これは、多くの場合、境界形成容積自体の一部です。
ポンプ技術の種類の紹介
最先端技術と実際のアプリケーションに沿った分類では、次の種類のポンプに違いが生じます。最初の3つのクラスは圧縮ポンプに属し、残りの2つのクラスは凝縮ポンプおよびゲッターポンプに属します。
- ポンプチャンバーの容積を定期的に増減させるポンプ（ロータリーベーンポンプおよびロータリープランジャーポンプ、トロコイドポンプ）
- ポンプチャンバーの容積を変更せずに、低圧側から高圧側に大量のガスを輸送するポンプ（ルーツポンプ、ターボ分子ポンプ）
- 排気効果が主にガスのない高速蒸気ジェットに拡散することに基づくポンプ（蒸気ポンプ）
- 凝縮によって蒸気を送り出すポンプ（コンデンサー）、極低温で凝縮によって永久ガスを送り出すポンプ（クライオポンプ）。
- ガスを実質的に含まない表面に吸着または吸収することによりガスを結合または取り込むポンプ（吸着ポンプ）。
これらの真空ポンプのクラスに関する調査は、表2.1の図に示します。
表2.1 真空ポンプの分類
