TURBOVAC iシリーズ
高真空ターボ分子ポンプ
排気速度が 90～1450 l/s のターボ分子真空ポンプのモジュラーライン
TURBOVAC iシリーズは、ハイブリッドロータベアリングを採用しています。フォアバキューム側のベアリングは永久潤滑のセラミックボールベアリング、高真空側のベアリングは摩耗のない磁気ベアリングが実装されています。
これらすべてのタイプのベアリングで一般的なのは、ポンプの停止時などに排気動作が行われないため、真空チャンバー内に拡散する可能性がある潤滑オイルを必要としないことです。
ターボ分子ポンプは大気圧に対して直接圧縮することができないため、運転には常に十分な定格のフォアバキュームポンプが必要ですが、当社はこれも提供しています。流量と到達圧力の要件に応じて、お客様のシステム要件に合わせてさまざまなフォアバキュームポンプを用意しています。
TURBOVAC i
TURBOVAC iターボ分子真空ポンプには、選択可能な2つのインターフェースがあります。
- コンパクトな標準インターフェースには、RS485、USB&デジタルI/Oインターフェースがあり、3つのステータスLEDと1つのアクセサリーを制御できます。
- Anybusインターフェースは、フルフィールドバスサポートとIP54防水および防塵へのアップグレードオプションがある拡張インターフェースです。
TURBOVAC iX
TURBOVAC iXはポンプの機能を拡張して、真空システムのコントローラーとして機能できるようにします。
iXシリーズは、全通信プロトコルとフィールドバスをサポートしています。
iXモデルは、最大6個のアクセサリーとバックポンプを制御できる完全な真空ソリューションです。
TURBOVAC iR
TURBOVAC iRハイブリッドターボ分子真空ポンプは、必要な真空を提供しながら高い電離放射線が周辺にある厳しいアプリケーションの要件を満たすように開発されました。
これらのポンプは、最長200 mの距離からの遠隔操作が可能です。
TURBOVAC iマルチインレット
TURBOVAC iマルチインレットは、スペースが制限されている環境でマルチポイント真空性能を必要とするアプリケーション向けのソリューションです。
複数のスタンドアロン真空ポンプの導入が困難な場合、「マルチインレット」技術は、中央のターボ分子ポンプに接続する「インレット」を導入することで機能します。また効率的な省スペースのため、初期および継続的な運用コストも削減できます
質量分析計アプリケーション、またはマルチポイント真空を大型の装置に収容する必要がある場合に最適です。
- 優れた性能
- ストレスフリーの操作性
- 高い柔軟性
- パーティクルに対する高い耐性
- 低いコストとメンテナンス
- スマートインターフェース
優れた性能
TURBOVAC iターボ分子ポンプには、ガス流量が増加するさまざまなプロセスおよび要求の厳しいアプリケーションにわたって、信頼性が一貫した性能を発揮するよう設計された独自のポンプステージを備えています。
TURBOVAC iシリーズは、排気速度性能と圧縮比の両方を最適化するように設計されています。90～1450 l/sの幅広い性能範囲で、軽ガス排気速度も含まれます。
ストレスフリーの操作性
TURBOVAC iシリーズは、機械的な衝撃や過酷なベントに対する堅牢なソリューションであり、システム稼働時間を保証します。
このFit & Forgetのポンプシリーズは、使いやすく信頼性が高く、エンドユーザーが予防保全を容易に実施できます。
高い柔軟性
TURBOVAC iシリーズには、UHV（超高真空）、スループット、およびリモート電子機器による耐放射線性オプションをカバーするバリエーションがあり、性能を損失することなく最長200 mの距離でポンプを動作させることができます。空冷と水冷のオプションもあります。これらの高真空ポンプは、任意の方向に取り付けることができます。
シングルインレットポンプの他に、マルチインレット、カートリッジポンプ、カスタマイズ製品など、お客様重視のエンジニアリングチームを通じて、豊富な製品を提供しています。マルチインレット / スプリットフローまたは特定の派生品をお探しの場合は、当社までお問い合わせください。
パーティクルに対する高い耐性
TURBOVACの設計上の利点の1つは、多くの産業アプリケーションで発生する可能性がある機械的な衝撃や過酷なベントに対する感度が低いことです。
TURBOVAC iターボ分子ポンプは、標準で保護等級IP 40を取得していますが、TURBOVAC 850 i以上のサイズのポンプはIP 54にアップグレードできます。これらのモデルは、特に過酷な環境での使用に適しており、すべてのコンポーネントのシーリングが向上しているため、水やダストの侵入に対する耐性が向上しています。
低いコストとメンテナンス
TURBOVAC iは、お客様のアプリケーションにおいて磁気ベアリングを備えた独自のオイルフリーハイブリッドベアリングコンセプトにより、メンテナンスフリーの操作とプロセスの汚染ゼロを保証します。モーター側では、永久潤滑式セラミックボールベアリングを採用し、メンテナンスキットを使用してエンドユーザー自身が交換できるため、低所有コストでの運用が可能です。
TURBOVAC 850 i～1450 iのメンテナンスは、交換後のベアリングの状態を確認し、サービスが差し迫っているときに警告するスマートシステムにより、さらに簡素化されています。
スマートインターフェースと直感的なソフトウェアプラットホーム
TURBOVACの全モデルは、次世代のソフトウェアLeyassistを使用して容易に制御、設定、モニタリングできます。Leyassistは、最新の直感的なソフトウェアプラットホームを提供し、すべてのお客様が無料で使用できます。
TURBOVAC iポンプは、コンパクトなインターフェースで最大2つのアクセサリーを制御でき、基本的なRS485、USB、およびDIGITAL I/O制御も可能です。必要に応じて、インターフェースは、ポンプから取り外すこともできます。
アップグレードされたインターフェースは、水やダストの侵入を防ぐためにIP54保護されており、インテリジェントなAnybusシステムも搭載されています。このソリューションは、完全なフィールドバスのサポートを提供し、2つのセンサー / ゲージまたはその他のアクセサリーの統合を簡素化します。
TURBOVAC iXシリーズは、あらゆるフィールドバスサポートも提供しています。"Anybus"と呼ばれるこのユニバーサルな製品により、Profibus、Ethernet IP、PROFINET、および選択可能なモジュールを介したEtherCAT経由の通信が可能です。
TURBOVAC iXは、Anybusインターフェースにより、フォアバキュームポンプと最大6つのアクセサリー、ゲージインターフェースを制御し、ポンプを完全な真空制御ソリューションに変えることができます。
