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低圧で高い排気速度を実現する高真空ポンプ

ライボルトのDIPシリーズの油拡散ポンプは、高真空ポンプ(10-2 mbar未満)です。これらは常にフォアバキュームポンプと連動して動作します。DIPシリーズの油拡散ポンプは水冷式で、油拡散ポンプの原理を使用して作動します。真空チャンバーの排気のために、高真空テクノロジーが採用されています。10-2~10-7 mbarの圧力範囲で最高の排気速度を達成します。

ライボルトのDIP油拡散ポンプには、4段階ノズルシステムと10年以上にわたって実証されたヒーターラジエーター原理を含む特別な設計が施されており、加熱時間が短いため、プロセスのサイクルタイムが最適化されます。

DIPシリーズは、10-4 mbarの低圧範囲で高排気速度を必要とするアプリケーションやプロセスに最適です。また、ライボルトのDIP油拡散ポンプは、回転部品による摩耗がないため、メンテナンスがほとんど必要ありません。DIPシリーズのさらなる利点は、実証済みのヒーター原理とメンテナンスに配慮した設計です。

ユーザーのメリット

4段階ノズルシステム

コールドキャップバッフルおよびフォアバキュームバッフル

ライボルトのヒーターラジエーター原理

加熱カートリッジ

サーモスタット

エネルギー効率制御

Oil Diffusion DIP 20000 Family

主要データ

排気速度3.000~50.000 l/s

動作範囲10-2~10-7 mbar未満

10-4 mbar未満の圧力範囲で最適な排気速度

DIP製品ラインは以下を提供します

  • 安定した高真空
  • 高いフォアバキューム許容値
  • 高い排気速度
  • 安全で経済的な設計
  • CE準拠のエレクトロニクス
  • 容易な操作
  • 加熱エレメントの交換が素早くできるメンテナンスが容易な設計
  • さまざまなアクセサリーが利用可能
  • 世界共通で使える柔軟な電気配線
  • 革新的なエネルギー効率制御(2年未満のROI) 

一目でわかるDIPのメリット

DIP製品ラインには、プロセスとアプリケーションをサポートするいくつかの有益な属性があります。

 

4段階ノズルシステム

DIPポンプには、軽量合金金属製の4段階ノズルシステムと、プロセス中のオイルの逆流を最小限に抑えるために上部に内蔵されたコールドキャップバッフルが装備されています。

  • オイルの逆流の最小化
  • ポンプ性能を高めるために最適化されたノズル設計

コールドキャップバッフルおよびフォアバキュームバッフル

流体が真空チャンバーに戻るのを防ぐため、DIPシリーズポンプには、吸気高真空ポートの領域に水冷式コールドキャップバッフルが取り付けられています。

フォアバキューム側には水冷式のフォアバキュームバッフルがあり、流体がフォアバキュームユニットに吸引されるのを効果的に防止します。

  • オイルの逆流が少ないため、プロセスパラメーターが向上します
  • フォアバキュームポンプのオイルを少なくすることで、長いメンテナンスサイクルを実現します
  • 長寿命オイル

ライボルトのヒーターラジエーター原理

DIP油拡散ポンプの加熱原理は、オイル液中のダイレクトラジエーターのように機能します。これにより、オイル流体への直接のエネルギー伝達が保証され、加熱時間が短縮され、その結果、プロセスにおける電力需要が低減されます。

  • 高速の加熱時間
  • オイルが長寿命
  • 容易なメンテナンス

加熱カートリッジ

必要に応じて、加熱カートリッジを容易に交換できます。ポンプを分解する必要はありません。

  • 加熱カートリッジの素早い交換
  • プロセスへのよりよい統合

サーモスタット

発熱体を保護するために、流体から突き出ているヒーターエレメントにサーモスタットセンサーが取り付けられています。これにより、安全サーモスタットで設定された温度を超えるとすぐにポンプのヒーターがオフになります。過熱防止スイッチは、安全に電源をオフにするためにシステムコントロールに内蔵されている必要があります。

  • 高いアプリケーションの安全性
  • 長いメンテナンスサイクル
  • ポンプの寿命を延長

エネルギー効率制御(EEC)

ポンプの性能を損なうことなく、最大30%の省エネを実現

油拡散ポンプは、作動するために一定の最低オイル温度が必要です。一般的に、設置されている加熱電力の100%が常に使用されます。拡散ポンプ用の革新的なライボルトエネルギー効率制御ユニットは、ポンプの運転温度が上昇した後、供給電力が大幅に減少するため、電力消費を最大30%削減します。温度が低下した状態でスタンバイモードを使用することで、さらなる節約が可能になります。冷却チラーシステムによるさらなる節約で、「不要なエネルギー、冷却設備容量の削減、水の節約」を実現します。

  • オイルおよび加熱カートリッジの耐用年数の延長
  • 優れた操作性と使いやすさ
  • 迅速なROI(2年未満)
  • パラメーターをシンプルで視覚的にモニタリング
  • USBインターフェースとEthernet
    DIP 3.000  DIP 8.000  DIP 12.000  DIP 20.000  DIP 30.000  DIP 50.000
High vacuum DN 250 ISO-K 400 ISO-K 500 ISO-K 630 ISO-F 800 ISO-F 1000 ISO-F
Fore vacuum connection DN 63 ISO-K 63 ISO-K 100 ISO-K 100 ISO-K 160 ISO-K 160 ISO-K
Pumping speed for                                          

Hydrogen < 1 x 10-4mbar

l/s 3000 8000 12000 20000 30000 50000

Air < 1 x 10-4 mbar

l/s 2200 6500 8900 16000 24500 41000
Operating range mbar (Torr) mbar (Torr)
< 10-2 to 10-7 (0.75 x 10-2 to 0.75 x 10-7) < 10-2 to 10-7 (0.75 x 10-2 to 0.75 x 10-7) < 10-2 to 10-7 (0.75 x 10-2 to 0.75 x 10-7) < 10-2 to 10-7 (0.75 x 10-2 to 0.75 x 10-7) < 10-2 to 10-7 (0.75 x 10-2 to 0.75 x 10-7) < 10-2 to 10-7 (0.75 x 10-2 to 0.75 x 10-7)
Ultimate total pressure mbar
< 5.0 x 10-7 (3.75 x 10-7) < 5.0 x 10-7 (3.75 x 10-7) < 5.0 x 10-7 (3.75 x 10-7) < 5.0 x 10-7 (3.75 x 10-7) < 5.0 x 10-7 (3.75 x 10-7) < 5.0 x 10-7 (3.75 x 10-7)
Mains connection        
Standard EURO, 50/60 Hz V 230 ~ 1 Ph 400 ~ 3 Ph Y 400 ~ 3 Ph Y 400 ~ 3 Ph Y 400 ~ 3 Ph Y 400 ~ 3 Ph Y
Standard Americas, 50/60 Hz V 230 ~ 1 Ph 460 ~ 3 Ph Y 460 ~ 3 Ph Y 460 ~ 3 Ph Y 460 ~ 3 Ph Y 460 ~ 3 Ph Y
Heating power kW 2,4 4,8 7,2 12 18 24
Weight, approx. kg (lbs) 29 (64) 70 (154) 102 (225) 172 (379) 296 (653) 560 (1235)

詳細な技術データについては、オンラインショップをご覧ください。

Oil diffusion/Oil Vapor Jet Pumps

PDF    979.4 kB

DIPシリーズの油拡散ポンプは、次のような産業アプリケーションに最適です。

  • 真空コーティング
  • 冶金
  • 真空炉
  • 真空乾燥
  • 宇宙シミュレーション
  • 研究開発
  • 機械工学
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