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高いガススループットと排気速度を備えた高真空ポンプ

ライボルトのDIJ シリーズの油拡散ポンプは、革新的なヒーターシステム、特殊な本体構造、およびプロセスチャンバーのポンプダウンを高速化する5段階ノズルシステムを備えた高度な設計を特徴とする高真空ポンプ(10-2 mbar未満)であり、エネルギー消費量や二酸化炭素排出量を低減します。

DIJシリーズは、10-2 mbar未満の範囲で、ガススループットが向上し、安定した高真空圧を実現します。排気速度は、5 x 10-1~10-7 mbarの運転範囲で3,000 l/s~33,000 l/sです。

DIJは、先進的な新しいヒーティングコンセプト、強力な5段階ノズルシステム、可変フランジ接続、エネルギー効率コントローラー(EEC)などの多数の電気接続オプション、フォアラインバッフルとコールドキャップバッフルが装備されています。DIJの5段階システム設計により、優れた性能を発揮します。高い排気速度のための4つの拡散ポンプステージと、10-2 mbar未満の圧力およびフォアバキュームの安定性での高いガススループットのための1つのエジェクターステージ。EECを搭載したモデルは、エネルギー効率を高めることで、さらなる省エネと二酸化炭素排出量の削減を実現します。

ライボルトのDIJ油拡散ポンプはメンテナンスがほとんど不要で、回転部品による磨耗がなく、操作が容易です。DIJシリーズは、革新的でエネルギー効率に優れた構造を採用しています。 

ユーザーのメリット

5段階ノズルシステム

コールドキャップバッフルおよびフォアバキュームバッフル

革新的なヒーティングコンセプト

さまざまなフランジ(ANSI/ISO)

お客様の要件を満たすさまざまな電気接続の選択肢

エネルギー効率制御

DIJ Family

主要データ

排気速度3.000~33.000 l/s

運転範囲10-1~10-7 mbar未満

10-3 mbar未満の圧力範囲での最適な排気速度

DIJ製品ライン

  • 安定した高真空
  • 高い排気速度
  • 高いガススループット
  • 安全で経済的な設計
  • CE準拠のエレクトロニクス
  • 容易な操作
  • 加熱エレメントの交換が素早くできるメンテナンスが容易な設計
  • さまざまなアクセサリーが利用可能
  • 世界共通で使える柔軟な電気配線
  • 革新的なエネルギー効率制御(EEC) 

一目でわかるDIJのメリット

DIJラインは、お客様のアプリケーションに最適な統合を実現するためのさまざまな便利な機能を提供します。

 

革新的なヒーティングコンセプト

独自の革新的なヒーティングコンセプトにより、オイルへのエネルギー伝達を最適化するために、熱交換面が大きい先進のヒーターカートリッジを採用しています。効果的な温度モニタリングにより、システムを過熱から保護します。絶縁ヒーターエリアにより、エネルギー損失を最小限に抑えることができます。

  • ヒーターおよびオイルによりストレスを最小限、長寿命
  • 高速の加熱時間
  • 交換が簡単なフランジ付きヒーター

5段階ノズルシステム

DIJポンプには、新しい5段階ノズルシステムが採用されています。4段階のポンプステージは、低圧での高い排気速度が保証され、低範囲の高真空になります。エジェクターステージは、高いフォアバキューム安定性と最適化されたガススループットを実現します。

  • 高いガススループットと排気速度
  • 内蔵コールドキャップバッフルにより、オイル逆流を最小限に抑えます

さまざまなフランジ(ANSI/ISO)

接続性を向上させるフランジタイプが選択可能

  • ANSI / インチフランジ(Oリングシール付き)
  • ISO-FまたはISO-Kフランジ(センタリングO-リングシール付き)

コールドキャップバッフルおよびフォアバキュームバッフル

DIJシリーズには、真空チャンバーへの液体の逆流を防ぐため、プロセスで実績のあるコールドキャップバッフルと最適化されたフォアバキュームバッフルが装着されています。

  • 革新的な新しいフォアラインバッフルにより、オイル損失を低減
  • プロセスパラメーターの改善
  • オイルの逆流を減少

エネルギー効率制御

ポンプ性能を損なうことなく、最大30%の省エネを実現

油拡散ポンプは、運転するために特定の最低オイル温度が必要です。コントローラーがない場合、取り付けられている加熱電力の100%が常にオイルの加熱に使用されます。ライボルトの拡散ポンプ用の革新的なエネルギー効率コントローラーは、ポンプが動作温度に達した後、供給電力を大幅に削減するため、消費電力を最大30%削減できます。温度が低下した状態でスタンバイモードを使用することで、さらなる節約が可能になります。 

  • エネルギー効率の向上
  • オイルおよび加熱カートリッジの稼働時間の向上
  • 優れた操作性と使いやすさ
  • パラメーターをシンプルで視覚的にモニタリング
  • USBインターフェースとEthernet接続
    DIJ 10 DIJ 320 DIJ 16 DIJ 500 DIJ 20 DIJ 630 DIJ 32 DIJ 800 DIJ 35 DIJ 1000
High vacuum   10'' ANSI 320 ISO-K 16'' ANSI 500 ISO-K 20'' ANSI 630 ISO-K 32'' ANSI 800 ISO-F 35'' ANSI 1000 ISO-F
fore vacuum connection   2'' ANSI 63 ISO-K 3'' ANSI 100 ISO-K 4'' ANSI 160 ISO-K 6'' ANSI 200 ISO-K 6'' ANSI 200 ISO-K
Pumping speed for    

Air < 8 x 10-4mbar

l/s 3000 6800 10800 21000 33000

Argon < 1 x 10-4 mbar

l/s 2750 6350 9500 18000 26000
Operating range  mbar < 10-1 - 10-7  < 10-1 - 10-7  < 10-1 - 10-7  < 10-1 - 10-6 < 10-1 - 10-6
Ultimate total pressure  mbar < 5 · 10-7 < 5 · 10-7 < 5 · 10-7 < 1 · 10-6 < 1 · 10-6
Mains voltage    3 ~ 400V /N/PE 3 ~ 400V /N/PE 3 ~ 400V /N/PE 3 ~ 400V /N/PE 3 ~ 400V /N/PE
depending on variant, 50/60Hz   3 ~ 460V /N/PE 3 ~ 460V /N/PE 3 ~ 460V /N/PE 3 ~ 460V /N/PE 3 ~ 460V /N/PE
Heating power kW 3,6 7,2 10,8 21,5 21,5
Weight, approx. kg 95 152 230 570 610
Oil diffusion/Oil Vapor Jet Pumps

PDF    979.4 kB

DIJシリーズの油拡散ポンプは、産業アプリケーションに最適です。

  • 真空コーティング
  • 冶金
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