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真空ポンプのメンテナンス一般的なトラブルシューティング

このセクションでは、トラブルシューティングとポンプメンテナンスに関する一般的な手順を提案します。また、潜在的なエラーとその原因についても説明します。

真空ポンプの一般的な操作情報

ポンプを取り付ける前に、吸気ポートと出口ポートを開いた状態でモーターの回転方向を確認する必要があります。モーター側から見て、ドライブシャフトは反時計回りに回転するはずです。回転方向を示すモーターまたはハウジングの矢印に注意してください。モーターが誤った方向に回転する場合、モーター接続ターミナルブロックで2つの位相を相互に変更することで、直ります。

目的の到達圧力が達成されない、または達成が遅すぎる場合の故障の原因

真空装置で目的の到達圧力にまったく達しない場合、あるいは過度に長いポンプ時間を経てようやく到達する場合は、次の問題が原因である可能性があります。

真空システムに漏れがあるか、汚れている可能性があります。
ポンプが汚れている、または損傷している可能性があります。
真空計が故障している可能性があります。

ポンプダウン時間が非常に長い後に必要な到達圧力に達した場合は、

真空システムが汚れている可能性があります。
ポンプラインが制限されているか、直径が小さすぎる可能性があります。
ポンプが汚れているか、容量が少なすぎる可能性があります。
ポンプ速度は、他の原因により制限される場合があります。

不具合を特定するには、真空容器をポンプシステムから切り離し、ポンプシステムだけで到達圧力に達するようにします。これが到達圧力に達しない場合は、使用中のポンプの種類について個々のポンプのセクションを参照してください。

次に、圧力上昇方法などを使用して、容器および配管/フランジの接続部にリークや汚れがないか点検する必要があります。フランジシールは、最初は重要でないように見えるわずかな傷や機械的損傷によって、リークが最も容易に見える場所であることが知られています。この点で容器に欠陥がない場合は、測定システムが清潔であることを確認します（「ゲージのメンテナンス」のページを参照）。

真空容器の汚染と汚染の除去

汚染を検出する一般的な手順は、ラインにコールドトラップを挿入した場合としない場合で、全く同一の真空計の圧力表示を比較することです。コールドトラップに液体窒素を充填すると、トラップ内で蒸気が固化するため、容器が汚染されている場合、圧力が10の1乗以上急激に低下します。

金属機器の汚染除去

金属部品は通常、オイルやグリースによる汚染の痕跡が見られます。容器をポンプダウンすることでこれらを容易に除去できない場合は、適切な有機溶媒（変性アルコールは、すべてのケースで不適切）を洗浄に使用する必要があります。業界で一般的に見られるような蒸気バスでは、最大限の清浄度が得られます。極端に低い圧力範囲（< 10^-7 mbar未満）を達成するには、洗浄後に金属部品を最高200℃の温度で焼き出す必要があります。ひどく汚染された金属部品は、最初に上面を切断またはサンドブラストして洗浄する必要があります。このような方法では、粗面化によって表面積が増加し、蒸気分子を容易に吸着する活性中心が形成される可能性があるというリスクがあります。蒸気浴の補助洗浄を行うことをお勧めします。場合によっては、表面の電解酸洗いが有効な場合があります。高真空コンポーネントの場合は、酸洗がエッチングにならないようにする必要があります。これにより、表面面積が著しく増加します。表面がこれらの圧力領域では従属的な役割のみを果たすため、低真空と中真空の領域では、サンドブラスト加工された表面を研磨する必要はありません。

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