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ライボルトはハイブリッド型ターボ分子ポンプTURBOVAC iシリーズの350および450L/secのサイズにUHVバージョンを追加しました。
通常モデルのTURBOVAC iに比べ、軽ガスの圧縮比が向上し、TURBOVAC iシリーズの特徴でもある高い排気速度に、より低い到達圧力が加わることで、研究開発アプリケーションに優れた性能を発揮します。
【主な特徴】
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TURBOVAC 350i UHV |
TURBOVAC 350i (スタンダード) |
TURBOVAC 450i UHV |
TURBOVAC 450i (スタンダード) |
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排気速度 (l・s-1) |
N2 290 Ar 260 He 360 H2 350 |
N2 290 Ar 260 He 360 H2 350 |
N2 430 Ar 400 He 440 H2 420 |
N2 430 Ar 400 He 440 H2 420 |
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到達圧力 |
1 x 10-10mbar |
5 x 10-10mbar |
1 x 10-10mbar |
5 x 10-10mbar |
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圧縮比 |
N2 > 1x1013 Ar > 1x1013 He > 3x109 H2 > 2x107 |
N2 > 1x1011 Ar > 1x1011 He > 1x108 H2 > 5x106 |
N2 > 1x1013 Ar > 1x1013 He > 3x109 H2 > 2x107 |
N2 > 1x1011 Ar > 1x1011 He > 1x108 H2 > 5x106 |
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フランジサイズ |
DN 100 CF |
DN 160 CF |