NEW TUROBVAC iシリーズに新しくUHVバージョンが追加されました
研究開発アプリケーションにより優れた性能を発揮します
ライボルトはハイブリッド型ターボ分子ポンプTURBOVAC iシリーズの350および450L/secのサイズにUHVバージョンを追加しました。
通常モデルのTURBOVAC iに比べ、軽ガスの圧縮比が向上し、TURBOVAC iシリーズの特徴でもある高い排気速度に、より低い到達圧力が加わることで、研究開発アプリケーションに優れた性能を発揮します。
【主な特徴】
- 通常モデルのTURBOVAC iに比べて、高い真空到達度（1 x 10-10mbar）
- 高いガス圧縮比でより優れたパフォーマンスを発揮
- 冷却用アクセサリーの追加が不要
- 通常モデルと同様の電気接続とインターフェースを搭載
- ストレスフリーな稼働
- 取り付け方向自在
研究開発
|
|
TURBOVAC 350i UHV |
TURBOVAC 350i （スタンダード） |
TURBOVAC 450i UHV |
TURBOVAC 450i （スタンダード） |
|
排気速度 （l・s-1） |
N2 290 Ar 260 He 360 H2 350 |
N2 290 Ar 260 He 360 H2 350 |
N2 430 Ar 400 He 440 H2 420 |
N2 430 Ar 400 He 440 H2 420 |
|
到達圧力 |
1 x 10-10mbar |
5 x 10-10mbar |
1 x 10-10mbar |
5 x 10-10mbar |
|
圧縮比 |
N2 > 1x1013 Ar > 1x1013 He > 3x109 H2 > 2x107 |
N2 > 1x1011 Ar > 1x1011 He > 1x108 H2 > 5x106 |
N2 > 1x1013 Ar > 1x1013 He > 3x109 H2 > 2x107 |
N2 > 1x1011 Ar > 1x1011 He > 1x108 H2 > 5x106 |
|
フランジサイズ |
DN 100 CF |
DN 160 CF |
||