ターボ分子ポンプのメンテナンスおよび操作ガイドライン
ターボ分子ポンプの一般的な操作情報
ターボ分子ポンプは、常に前段真空ポンプと組み合わせて動作します。排気する容器のサイズによっては、ターボ分子ポンプと前段真空ポンプを同時にオンにすることができます。前段真空ポンプを使用して容器を約1 mbarまでポンプするのに必要な時間がターボポンプの慣らし運転よりも長い場合は、ターボ分子ポンプのスイッチをオンにするのを遅らせることをお勧めします。ポンプの起動時間を節約するために、バッチ（周期的）操作用にセットアップされたシステムでターボ分子ポンプを使用する場合は、バイパスラインを使用することをお勧めします。高真空バルブを開く際には、約10‑1 mbarの圧力は危険ではありません。
ターボ分子ポンプは、入口ポートから入る物体から保護する必要があります。また、金網のスインタガードを使用してのみ実行する必要があります。マッシュサイズの異なるバージョンが用意されています。また、稼働中にポンプに急激な衝撃や、突然の位置変化を避ける必要があります。
ローターの回転中にポンプを大気圧まで排気するには、必ず操作手順を厳守してください。特定の状況下では、例外的な条件下でターボ分子ポンプを操作することが可能です。たとえば、ポンプのモデルや取り付け状況に応じて、ターボ分子ポンプを磁場中で使用することが可能です。
放射性環境では、標準的なターボ分子ポンプを危険なしに特定の線量率で使用できます。高線量率に遭遇した場合は、より大きな負荷に耐えるようにポンプ内の特定の物質を変更できます。このような場合の電子周波数変換器は、内部で使用される電子部品が放射線の低い線量率しか許容できないため、放射性領域外に設置する必要があります。モーター駆動の周波数変換器を使用することで、より多くの耐久性を得ることができます。ライボルトは、この課題に対応する多数のソリューションをユーザーに提供できます。
ターボ分子ポンプのメンテナンス
ターボ分子ポンプと周波数変換器は、ほぼメンテナンスフリーです。セラミックベアリングの交換は2年ごとに推奨されており、当社のフィールドサービスまたはトレーニングを受けた資格のあるお客様が行うことができます。
メンテナンスフリーのターボ分子ポンプには、接触のない磁気ベアリング技術を備えたものが含まれ、5軸のアクティブ磁気ベアリングと駆動システムを備えており、信頼性と効率的な動作が組み合わされています。
ポンプのタービンユニットの清掃が必要になった場合は、操作説明書またはサービスマニュアルに記載されている手順に従って、フィールドサービスエンジニアまたは社内で（ポンプの用途と堆積物のレベルに応じて）これを行うことができます。
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Fundamentals of Vacuum Technology
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References
- Vacuum symbols
- Glossary of units
- References and sources
Vacuum symbols
A glossary of symbols commonly used in vacuum technology diagrams as a visual representation of pump types and parts in pumping systems
Glossary of units
An overview of measurement units used in vacuum technology and what the symbols stand for, as well as the modern equivalents of historical units
References and sources
References, sources and further reading related to the fundamental knowledge of vacuum technology
