ルートブロワーと組み合わせたドライ圧縮真空ポンプ

  • 高いポンプの排気速度
  • 高い信頼性
  • 要求の厳しい用途のプロセス(埃、蒸気、など)に適している
  • 監視システム

ターボ分子ポンプ

  • 粒子の処理に適している
  • 高い前方真空耐性
  • 任意の方向での取り付け

ルートブロワーと組み合わせた1 段式回転翼ポンプ。

  • 高速ポンプダウンのために設計
  • ロードロックおよび配送チャンバ
  • 低真空レンジのための堅牢な真空発生器
  • 高い信頼性
  • コスト最適化