UNIVEX C

クラスターおよびカスタム蒸着システム

特殊なアプリケーション向けに、UNIVEXモジュラーコンセプトに基づいたクラスターシステムやカスタムシステムを提供することもできます。

オンラインショップ

カスタマイズされたシステム設計

プログラム可能なレシピ制御プロセスシーケンス

優れたプロセス真空、低い残留ガス汚染

UNIVEX C - CLUSTER
UNIVEX C - CUSTOM

UNIVEX C - CLUSTER

当社のUNIVEXクラスターは、お客様の要件に応じて装備され、個別のプロセスチャンバー、ロードロックチャンバー、転送チャンバーを備えています。一般的に、各真空チャンバーには独自の高真空システムがあります。ロードロックチャンバーは、個々の基板を手動で装填する最もシンプルな方法です。また、1回のバッチで複数の基板をマガジン処理することも可能です。

一般的に、個々の真空チャンバー間の基板の輸送には、モーター駆動ロボットアームまたはリニア転送駆動装置が使われます。UNIVEX制御ソフトウェアは、特定のアプリケーション要件に応じてカスタマイズされており、通常、レシピ処理を含むプロセスの完全自動実行が可能です。