ソーラーコーティング
ソーラーコーティング
ソーラーパネルの生産は、ウェハベースと薄膜の2つの技術に分けることができます。
ウェハベースの太陽電池の生産では、最初の真空ステップはシリコンウェハの製造です。単結晶や多結晶のインゴットから切り出され、真空下でDSSまたはチョクラルスキー結晶成長プロセスで製造されます（詳しくは結晶引き上げを参照してください）。
もう1つの重要な真空ステップは、透明導電性酸化物の物理蒸着（PVD TCO）コーティングステップです。これは、層スタックの前面と背面にスパッタされます。
薄膜太陽電池の生産では、CIGS（銅、インジウム、ガリウム、セレン）とCdTe（カドミウム、テルリウム）の2つの主要技術があります。両方の活性層スタックは、複数のプロセスステップで真空コーターに適用されます。また、PVD TCOコーティングは、層スタックの前面と背面にスパッタされます。
ヘテロ接合部（HJT）の新技術は、化学蒸着法（CVD）ステップと、既知のPVD前面および背面コンタクトコーティングを組み合わせたものです。CVDコーティングステップは、非晶性または微結晶性で適用されます。この技術の中で、ライボルトは世界中に多数のポンプを設置しています。
すべての真空プロセスは、通常、短いサイクル時間で動作する大型のインラインコーティング装置で行われます。ライボルトは、この技術を最初からサポートしており、豊富な専門知識を蓄積してきました。ライボルトは、高速なロードロックポンピングを実現するために、POWERBOOSTシステムを開発しました。その他の特殊なDRYVAC/RUVACポンプシステムは、CIGSやCdTeなどの要求の厳しいアプリケーションで最も信頼性の高いソリューションとして実証されており、最高の工場稼働時間を保証します。
このプロセスでは、大量の粉塵が発生し、H2に加えて有毒なドーピングガスが使用されるため、HJTにはさらに厳しい条件が課せられます。DRYVACは、密閉されているため、ここでは優れています。ポンプの材質は、このようなプロセスを処理するために特別に選択されています。
