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Turbomolecular Pumps

TURBOVAC MAGiNTEGRA

磁気ローターサスペンション付きターボ分子ポンプ

正確さ、精度、信頼性がオールインワン

TURBOVAC MAGiNTEGRAは磁気浮上式ポンプで、分析、環境、研究、および困難な工業用コーティングアプリケーションに適した、強力でコンパクトな製品ラインです。

  • 排気速度とガススループットが高いため、ポンプのダウンタイムが短縮され、機器のサイクルタイムが改善されます。 
  • 5軸アクティブ磁気ベアリングと駆動システムにより、高い信頼性と安全で効率的な運転を実現します。
  • 完全に統合されたコンバーターと電源:従来のラックマウント型コントローラーと相互接続ケーブルが不要になりました。

安全上の理由から、電源が切断された場合、MAGiNTEGRAドライブシステムは発電機モードに切り替わり、低速減速によってローターが浮上したままになります。電源が戻ると、ポンプは自動的に通常速度まで加速し始めます。

MAGiNTEGRAは保護等級IP 54であり、過酷な産業アプリケーション環境での使用に最適なポンプです。

これらの磁気ターボポンプは、10-1 mbar( 0.75 x 10-1Torr )~10-10 mbar(0.75 x 10-10 Torr)の圧力範囲で使用されます。空気の排気速度は、300 l/sから2,200 l/sまでさまざまです。

TURBOVAC MAGiNTEGRAポンプは、主に以下を必要とするエリアに設置されます。

  • 騒音や振動のない運転 
  • 炭化水素を含まないこと
  • メンテナンスフリーの期間が長いこと

柔軟性

これらの高真空ポンプは、あらゆる方向で高性能を発揮し、お客様のシステムに容易に組み込むことができます。

MAGiNTEGRAターボ分子ポンプは、省スペースのオプションであり、クリーンな高真空および超高真空を生成します。

側面または底部にコントローラーを備えた柔軟な設計と、革新的なモジュール式の産業用通信ソリューションにより、システムの統合が簡素化されます。

PVD、ディスプレイ、光学、建築用ガラスコーティングなどの標準的な産業アプリケーションに適しています。

信頼性

TURBOVAC MAGiNTEGRAは、すべてのガスに対して高い排気速度と高い圧縮比を実現します。

以下の影響を受けません。

  • プロセス粒子やダスト
  • ショックベント

これらは炭化水素を含まないポンプであり、クリーンな高真空および超高真空条件が保証されます。

複合型および従来のターボローターステージに加えて、オンボードの周波数変換器および電源が搭載されています。

上記のすべてと、振動値が非常に低いことより、高い信頼性の運転を実現しています。

低コストとメンテナンス時間の短縮

監視機能と自己保護機能により、ほとんどのアプリケーションでメンテナンスフリーです。

High Vacuum Pumps

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Product Overview 2021

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